`(cid:15)(cid:24)(cid:20)(cid:28)(cid:20)(cid:30)(cid:22)(cid:28)(cid:30)(cid:2)(cid:1)
`
`(cid:6)(cid:3)(cid:2)(cid:7)
`
`(cid:41)(cid:18)(cid:32)(cid:13)(cid:35)(cid:33)(cid:16)(cid:44)(cid:15)(cid:35)(cid:39)(cid:78)(cid:16)(cid:18)(cid:46)(cid:26)(cid:13)(cid:18)(cid:78)(cid:25)(cid:10)(cid:46)(cid:28)(cid:23)(cid:78)(cid:10)(cid:42)
`(cid:29)(cid:18)(cid:10)(cid:41)(cid:42)(cid:78)(cid:35)(cid:34)(cid:18)(cid:78)(cid:41)(cid:48)(cid:18)(cid:42)(cid:39)(cid:26)(cid:13)(cid:10)(cid:29)(cid:78)(cid:37)(cid:10)(cid:26)(cid:39)(cid:78)(cid:35)(cid:20)
`(cid:30)(cid:35)(cid:41)(cid:22)(cid:42)(cid:41)
`
`(cid:76)(cid:37)(cid:31)(cid:78)
`
`(cid:56)(cid:106)(cid:121)(cid:87)(cid:106)(cid:118)(cid:108)(cid:112)(cid:116)(cid:42)(cid:127) (cid:30)(cid:50)(cid:58)(cid:60)(cid:78)(cid:10)(cid:56)(cid:49)(cid:70)(cid:49)(cid:1)(cid:78)(cid:67)(cid:116)(cid:80)(cid:101)(cid:80)(cid:45)(cid:127)(cid:25)(cid:60)(cid:68)(cid:66)(cid:77)(cid:62)
`(cid:47)(cid:49)(cid:64)(cid:49)(cid:74)(cid:51)(cid:58)(cid:60)(cid:1)(cid:78)(cid:73)(cid:80)(cid:101)(cid:80)(cid:118)(cid:116)(cid:119)(cid:101)(cid:98)(cid:45)(cid:127)(cid:42)(cid:66)(cid:69)(cid:59)(cid:60)(cid:66)(cid:78)
`(cid:47)(cid:49)(cid:64)(cid:49)(cid:52)(cid:49)(cid:1)(cid:78)(cid:61)(cid:80)(cid:86)(cid:108)(cid:104)(cid:80)(cid:2)(cid:127)(cid:80)(cid:103)(cid:102)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:57)(cid:80)(cid:110)(cid:80)(cid:106)(cid:127)
`(cid:76)(cid:37)(cid:25)(cid:78)(cid:127) (cid:48)(cid:116)(cid:116)(cid:98)(cid:96)(cid:87)(cid:87)(cid:43)(cid:127) (cid:30)(cid:49)(cid:70)(cid:69)(cid:74)(cid:69)(cid:58)(cid:60)(cid:71)(cid:49)(cid:78)(cid:18)(cid:63)(cid:53)(cid:51)(cid:73)(cid:60)(cid:51)(cid:78) (cid:26)(cid:65)(cid:52)(cid:74)(cid:69)(cid:70)(cid:68)(cid:60)(cid:49)(cid:63)(cid:78)(cid:13)(cid:66)(cid:3)(cid:1)
`(cid:29)(cid:71)(cid:52)(cid:3)(cid:1)(cid:78)(cid:67)(cid:116)(cid:82)(cid:80)(cid:2)(cid:127)(cid:58)(cid:80)(cid:110)(cid:80)(cid:106)(cid:127)
`(cid:76)(cid:22)(cid:19)(cid:78) (cid:48)(cid:110)(cid:110)(cid:102)(cid:7)(cid:127)(cid:65)(cid:108)(cid:10)(cid:44)(cid:127) (cid:8)(cid:9)(cid:1)(cid:11)(cid:8)(cid:5)
`(cid:30)(cid:49)(cid:68)(cid:3)(cid:78)(cid:7)(cid:8)(cid:2)(cid:18)(cid:6)(cid:14)(cid:8)(cid:18)
`(cid:76)(cid:22)(cid:22)(cid:78) (cid:54)(cid:98)(cid:103)(cid:87)(cid:86)(cid:42)
`(cid:20)(cid:66)(cid:68)(cid:53)(cid:60)(cid:57)(cid:78)(cid:10)(cid:67)(cid:67)(cid:63)(cid:60)(cid:51)(cid:49)(cid:72)(cid:66)(cid:65)(cid:78)(cid:37)(cid:68)(cid:60)(cid:66)(cid:68)(cid:60)(cid:71)(cid:76)(cid:78)(cid:16)(cid:49)(cid:70)(cid:49)
`(cid:63)(cid:81)(cid:113)(cid:10)(cid:127)(cid:23)(cid:36)(cid:2)(cid:127)(cid:20)(cid:41)(cid:41)(cid:23)(cid:127) (cid:77)(cid:59)(cid:69)(cid:79)(cid:127)
`(cid:60)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:10)(cid:11)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:11)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:11)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:7)(cid:10)(cid:7)(cid:11)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:11)(cid:7)(cid:8)(cid:7)(cid:127) (cid:27)(cid:5)(cid:15)(cid:36)(cid:15)(cid:36)(cid:32)(cid:32)(cid:127)
`(cid:26)(cid:65)(cid:70)(cid:3)(cid:78)(cid:51)(cid:9)(cid:33)(cid:127) (cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:10)(cid:11)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:10)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:7)(cid:7)(cid:10)(cid:127)(cid:16)(cid:4)(cid:6)(cid:17)(cid:18)(cid:7)(cid:13)(cid:3)(cid:11)(cid:12)(cid:18)
`(cid:76)(cid:31)(cid:19)(cid:78)
`(cid:76)(cid:31)(cid:22)(cid:78) (cid:44)(cid:3)(cid:41)(cid:3)(cid:78)(cid:13)(cid:63)(cid:78)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:5)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:5)(cid:5)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:6)(cid:5)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:6)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:6)(cid:4)(cid:78) (cid:7)(cid:9)(cid:11)(cid:3)(cid:8)(cid:10)(cid:13)(cid:15)(cid:18)(cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:25)(cid:40)(cid:16)(cid:46)(cid:127)
`(cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:30)(cid:19)(cid:45)(cid:127) (cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:34)(cid:19)(cid:38)(cid:47)(cid:127)(cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:34)(cid:31)(cid:25)(cid:45)(cid:127) (cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:37)(cid:37)(cid:25)(cid:127)
`(cid:76)(cid:31)(cid:38)(cid:78) (cid:20)(cid:60)(cid:53)(cid:63)(cid:52)(cid:78)(cid:66)(cid:55)(cid:78)(cid:41)(cid:53)(cid:49)(cid:68)(cid:51)(cid:58)(cid:78)(cid:7)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:10)(cid:7)(cid:11)(cid:10)(cid:127) (cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:25)(cid:34)(cid:40)(cid:2)(cid:127)(cid:25)(cid:40)(cid:16)(cid:2)(cid:127)(cid:28)(cid:16)(cid:19)(cid:2)(cid:127)(cid:34)(cid:21)(cid:38)(cid:2)(cid:127)
`(cid:22)(cid:31)(cid:37)(cid:13)(cid:34)(cid:31)(cid:25)(cid:2)(cid:127)(cid:37)(cid:37)(cid:25)(cid:127)
`
`(cid:76)(cid:25)(cid:16)(cid:78)
`
`(cid:76)(cid:31)(cid:34)(cid:78)(cid:127)
`
`(cid:39)(cid:53)(cid:55)(cid:53)(cid:68)(cid:53)(cid:65)(cid:51)(cid:53)(cid:69)(cid:78)(cid:13)(cid:60)(cid:70)(cid:53)(cid:52)(cid:78)
`(cid:21)(cid:36)(cid:40)(cid:19)(cid:27)(cid:24)(cid:33)(cid:78)(cid:38)(cid:11)(cid:43)(cid:19)(cid:33)(cid:43)(cid:78)(cid:17)(cid:36)(cid:14)(cid:45)(cid:31)(cid:19)(cid:33)(cid:43)(cid:41)(cid:78)
`(cid:15)(cid:23)(cid:23)(cid:23)(cid:26)(cid:41)(cid:35)(cid:127) (cid:32)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:39)(cid:36)(cid:127) (cid:52)(cid:120)(cid:113)(cid:109)(cid:111)(cid:88)(cid:81)(cid:107)(cid:127)(cid:69)(cid:81)(cid:117)(cid:10)(cid:127)(cid:68)(cid:91)(cid:127)(cid:10) (cid:10)
`(cid:15)(cid:29)(cid:27)(cid:32)(cid:36)(cid:23)(cid:32)(cid:127) (cid:41)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:41)(cid:20)(cid:127) (cid:52)(cid:120)(cid:113)(cid:109)(cid:111)(cid:88)(cid:83)(cid:127)(cid:69)(cid:81)(cid:117)(cid:10)(cid:127)(cid:68)(cid:91)(cid:127)(cid:10) (cid:11)
`(cid:32)(cid:39)(cid:4)(cid:23)(cid:15)(cid:36)(cid:35)(cid:36)(cid:36)(cid:127) (cid:23)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:39)(cid:26)(cid:127) (cid:59)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:12)
`(cid:35)(cid:20)(cid:5)(cid:23)(cid:41)(cid:15)(cid:36)(cid:35)(cid:36)(cid:127) (cid:20)(cid:23)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:39)(cid:35)(cid:127) (cid:59)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:7)
`(cid:35)(cid:24)(cid:6)(cid:20)(cid:20)(cid:32)(cid:39)(cid:35)(cid:20)(cid:127) (cid:32)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:39)(cid:36)(cid:127) (cid:59)(cid:81)(cid:111)(cid:83) (cid:8)
`(cid:23)(cid:20)(cid:32)(cid:41)(cid:15)(cid:32)(cid:27)(cid:127) (cid:35)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:41)(cid:15)(cid:127) (cid:59)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:11)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:10)(cid:1)(cid:4)(cid:7)(cid:11)
`(cid:5)(cid:6)(cid:8)(cid:11)
`
`(cid:2)(cid:3)(cid:9)(cid:11)(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:4)(cid:1)(cid:2)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:4)(cid:1)(cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:4)(cid:1)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:4)(cid:5)(cid:5)(cid:5)(cid:6)(cid:4)(cid:4)(cid:3)(cid:4)(cid:3)(cid:6)(cid:4)(cid:5)(cid:3)(cid:4)(cid:4)(cid:6)(cid:3)(cid:3)(cid:5)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:3)(cid:4)(cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:6)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:4)(cid:5)(cid:6)(cid:3)(cid:4)(cid:3)(cid:4)(cid:3)(cid:6)(cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:1)(cid:1)(cid:2)(cid:2)(cid:1)(cid:6)
`(cid:74)(cid:72)(cid:17)(cid:31)(cid:25)(cid:38)(cid:40)(cid:38)(cid:19)(cid:16)(cid:48)(cid:127)
`(cid:2)(cid:1)(cid:1)(cid:3) (cid:19)(cid:20)(cid:28)(cid:22)(cid:25)(cid:28)(cid:30)(cid:18)(cid:29)(cid:21)(cid:22)(cid:27)(cid:14)
`(cid:9)(cid:1)(cid:7)(cid:11)(cid:12)(cid:1)(cid:11)(cid:5)(cid:4)(cid:30)
`(cid:6)(cid:2)(cid:3)(cid:7) (cid:16)(cid:20)(cid:28)(cid:22)(cid:30) (cid:26)(cid:23)(cid:30)(cid:19)(cid:20)(cid:28)(cid:22)(cid:25)(cid:28)(cid:14)
`(cid:17)(cid:22)(cid:21)(cid:3)(cid:30)(cid:6)(cid:8)(cid:2)(cid:30)(cid:6)(cid:13)(cid:13)(cid:10)(cid:30)
`
`(cid:26)(cid:26)(cid:35)(cid:26)(cid:15)(cid:20)(cid:127) (cid:32)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:41)(cid:20)(cid:127) (cid:60)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:10)(cid:127)
`(cid:32)(cid:20)(cid:26)(cid:36)(cid:20)(cid:26)(cid:127) (cid:20)(cid:14)(cid:20)(cid:41)(cid:41)(cid:26)(cid:127) (cid:60)(cid:81)(cid:111)(cid:83)(cid:127) (cid:10)(cid:127)
`
`(cid:67)(cid:73)(cid:55)(cid:53)(cid:71)(cid:127)(cid:70)(cid:74)(cid:49)(cid:127)(cid:62)(cid:56)(cid:127)(cid:50)(cid:48)(cid:127)(cid:73)(cid:56)(cid:67)(cid:127)(cid:66)(cid:72)(cid:127)
`
`(cid:72)(cid:87)(cid:80)(cid:112)(cid:85)(cid:97)(cid:127)(cid:71)(cid:87)(cid:110)(cid:108)(cid:114)(cid:118)(cid:127) (cid:93)(cid:112)(cid:127) (cid:53)(cid:119)(cid:112)(cid:108)(cid:110)(cid:87)(cid:80)(cid:106)(cid:127) (cid:48)(cid:110)(cid:110)(cid:102)(cid:7)(cid:127) (cid:40)(cid:25)(cid:19)(cid:18)(cid:40)(cid:28)(cid:16)(cid:7)(cid:37)(cid:127) (cid:104)(cid:80)(cid:98)(cid:102)(cid:87)(cid:86)(cid:127)
`(cid:67)(cid:85)(cid:118)(cid:7)(cid:127)(cid:28)(cid:2)(cid:127)(cid:19)(cid:40)(cid:40)(cid:25)(cid:11)(cid:127)
`(cid:4)(cid:10)(cid:5)(cid:14)(cid:17)(cid:2)(cid:16)(cid:5)(cid:10)(cid:9)(cid:11)(cid:8)(cid:12)(cid:1)(cid:3)(cid:7)(cid:15)(cid:6)(cid:13)(cid:7)(cid:17)(cid:75)(cid:108)(cid:100)(cid:85)(cid:98)(cid:87)(cid:85)(cid:97)(cid:108)(cid:122)(cid:98)(cid:85)(cid:124)(cid:127)
`(cid:5)(cid:19)(cid:19)(cid:14)(cid:18)(cid:8)(cid:20)(cid:1)(cid:21)(cid:5)(cid:10)(cid:8)(cid:12)(cid:19)(cid:2)(cid:21)(cid:14)(cid:15)(cid:21)(cid:6)(cid:11)(cid:17)(cid:4)(cid:7)(cid:9)(cid:13)(cid:13)(cid:9)(cid:16)(cid:3)(cid:21)(cid:67)(cid:118)(cid:118)(cid:108)(cid:2)(cid:127)(cid:49)(cid:108)(cid:98)(cid:116)(cid:116)(cid:87)(cid:102)(cid:102)(cid:87)(cid:127)(cid:1)(cid:127)
`(cid:72)(cid:101)(cid:103)(cid:80)(cid:112)(cid:127)
`
`(cid:10)(cid:12)(cid:41)(cid:42)(cid:39)(cid:10)(cid:15)(cid:78)
`(cid:76)(cid:31)(cid:37)(cid:78)(cid:127)
`(cid:48)(cid:127)(cid:116)(cid:87)(cid:104)(cid:99)(cid:85)(cid:108)(cid:106)(cid:86)(cid:119)(cid:85)(cid:118)(cid:108)(cid:112)(cid:127)(cid:86)(cid:87)(cid:121)(cid:98)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:97)(cid:80)(cid:121)(cid:98)(cid:106)(cid:95)(cid:127)(cid:80)(cid:118)(cid:127)(cid:103)(cid:87)(cid:80)(cid:116)(cid:118)(cid:127)(cid:108)(cid:106)(cid:87)(cid:127)(cid:116)(cid:123)(cid:104)(cid:104)(cid:87)(cid:118)(cid:112)(cid:98)(cid:125)
`(cid:85)(cid:80)(cid:102)(cid:127)(cid:110)(cid:80)(cid:98)(cid:112)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:64)(cid:67)(cid:72)(cid:54)(cid:53)(cid:73)(cid:116)(cid:127)(cid:98)(cid:116)(cid:127)(cid:110)(cid:112)(cid:108)(cid:121)(cid:98)(cid:86)(cid:87)(cid:86)(cid:7)(cid:127)(cid:73)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:86)(cid:87)(cid:121)(cid:98)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:98)(cid:106)(cid:85)(cid:103)(cid:119)(cid:86)(cid:87)(cid:116)(cid:127)
`(cid:80)(cid:127)(cid:116)(cid:87)(cid:105)(cid:99)(cid:85)(cid:108)(cid:106)(cid:86)(cid:119)(cid:85)(cid:118)(cid:108)(cid:112)(cid:127)(cid:102)(cid:80)(cid:123)(cid:87)(cid:112)(cid:127)(cid:97)(cid:80)(cid:121)(cid:99)(cid:106)(cid:95)(cid:127)(cid:80)(cid:106)(cid:127) (cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127)(cid:116)(cid:119)(cid:112)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:2)(cid:127)(cid:80)(cid:106)(cid:127)(cid:80)(cid:85)(cid:125)
`(cid:118)(cid:98)(cid:121)(cid:87)(cid:127) (cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:127) (cid:93)(cid:112)(cid:104)(cid:87)(cid:86)(cid:127) (cid:98)(cid:106)(cid:127) (cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127) (cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127) (cid:116)(cid:119)(cid:112)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:2)(cid:127) (cid:80)(cid:106)(cid:127) (cid:98)(cid:116)(cid:108)(cid:102)(cid:80)(cid:118)(cid:98)(cid:108)(cid:106)(cid:127)
`(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:127)(cid:93)(cid:112)(cid:104)(cid:87)(cid:86)(cid:127) (cid:99)(cid:106)(cid:127) (cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127) (cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127) (cid:116)(cid:119)(cid:112)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:127) (cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127) (cid:87)(cid:106)(cid:85)(cid:102)(cid:108)(cid:116)(cid:99)(cid:106)(cid:95)(cid:127) (cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)
`(cid:80)(cid:85)(cid:118)(cid:98)(cid:121)(cid:87)(cid:127) (cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:98)(cid:108)(cid:106)(cid:2)(cid:127) (cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127) (cid:80)(cid:127) (cid:110)(cid:80)(cid:99)(cid:112)(cid:127) (cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:64)(cid:67)(cid:72)(cid:54)(cid:53)(cid:73)(cid:116)(cid:127) (cid:93)(cid:115)(cid:87)(cid:86)(cid:127) (cid:99)(cid:106)(cid:127) (cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)
`(cid:80)(cid:85)(cid:118)(cid:98)(cid:121)(cid:87)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:98)(cid:108)(cid:106)(cid:2)(cid:127)(cid:122)(cid:97)(cid:87)(cid:112)(cid:87)(cid:99)(cid:106)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:110)(cid:80)(cid:99)(cid:112)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:64)(cid:67)(cid:72)(cid:54)(cid:53)(cid:73)(cid:116)(cid:127)(cid:80)(cid:112)(cid:87)(cid:127)(cid:116)(cid:123)(cid:104)(cid:126)
`(cid:104)(cid:87)(cid:118)(cid:112)(cid:98)(cid:85)(cid:80)(cid:102)(cid:127)(cid:122)(cid:98)(cid:118)(cid:97)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:116)(cid:110)(cid:87)(cid:85)(cid:118)(cid:127)(cid:118)(cid:108)(cid:127)(cid:80)(cid:127)(cid:92)(cid:112)(cid:116)(cid:118)(cid:127)(cid:116)(cid:123)(cid:104)(cid:104)(cid:87)(cid:118)(cid:112)(cid:99)(cid:85)(cid:127)(cid:110)(cid:102)(cid:80)(cid:106)(cid:87)(cid:127)(cid:116)(cid:119)(cid:84)(cid:116)(cid:118)(cid:80)(cid:106)(cid:125)
`(cid:118)(cid:98)(cid:80)(cid:102)(cid:102)(cid:123)(cid:127)(cid:121)(cid:87)(cid:112)(cid:118)(cid:98)(cid:85)(cid:80)(cid:103)(cid:127)(cid:118)(cid:108)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127)(cid:116)(cid:119)(cid:112)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127)(cid:80)(cid:102)(cid:116)(cid:108)(cid:127)(cid:122)(cid:98)(cid:118)(cid:97)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:116)(cid:110)(cid:87)(cid:85)(cid:118)(cid:127)
`(cid:118)(cid:108)(cid:127)(cid:80)(cid:127)(cid:116)(cid:87)(cid:85)(cid:108)(cid:106)(cid:86)(cid:127)(cid:116)(cid:123)(cid:104)(cid:104)(cid:87)(cid:118)(cid:112)(cid:99)(cid:85)(cid:127) (cid:110)(cid:102)(cid:80)(cid:106)(cid:87)(cid:127)(cid:121)(cid:87)(cid:114)(cid:118)(cid:98)(cid:85)(cid:80)(cid:102)(cid:127)(cid:84)(cid:108)(cid:118)(cid:97)(cid:127)(cid:118)(cid:108)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127)
`(cid:116)(cid:119)(cid:114)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127)(cid:118)(cid:108)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:92)(cid:112)(cid:116)(cid:118)(cid:127)(cid:116)(cid:123)(cid:104)(cid:104)(cid:87)(cid:118)(cid:112)(cid:99)(cid:85)(cid:127)(cid:110)(cid:102)(cid:80)(cid:106)(cid:87)(cid:2)(cid:127)(cid:87)(cid:80)(cid:85)(cid:97)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:110)(cid:80)(cid:98)(cid:112)(cid:127)
`(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:64)(cid:67)(cid:72)(cid:54)(cid:53)(cid:73)(cid:116)(cid:127)(cid:98)(cid:106)(cid:85)(cid:102)(cid:119)(cid:86)(cid:87)(cid:116)(cid:127)(cid:80)(cid:127)(cid:116)(cid:108)(cid:119)(cid:112)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:98)(cid:108)(cid:106)(cid:2)(cid:127)(cid:80)(cid:127)(cid:86)(cid:112)(cid:80)(cid:98)(cid:106)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:3)(cid:127)
`(cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127)(cid:80)(cid:127)(cid:85)(cid:97)(cid:80)(cid:106)(cid:106)(cid:87)(cid:103)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:127)(cid:93)(cid:112)(cid:104)(cid:87)(cid:86)(cid:127)(cid:99)(cid:106)(cid:127)(cid:80)(cid:106)(cid:127)(cid:119)(cid:110)(cid:110)(cid:87)(cid:112)(cid:127)(cid:116)(cid:119)(cid:112)(cid:90)(cid:80)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)
`(cid:80)(cid:85)(cid:118)(cid:98)(cid:121)(cid:87)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:2)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:116)(cid:108)(cid:119)(cid:112)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:98)(cid:108)(cid:106)(cid:127)(cid:98)(cid:116)(cid:127)(cid:116)(cid:97)(cid:80)(cid:112)(cid:87)(cid:86)(cid:127)(cid:84)(cid:123)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:110)(cid:80)(cid:98)(cid:112)(cid:127)(cid:108)(cid:89)(cid:127)
`(cid:64)(cid:67)(cid:72)(cid:54)(cid:53)(cid:73)(cid:116)(cid:2)(cid:127) (cid:80)(cid:106)(cid:86)(cid:127) (cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127) (cid:86)(cid:112)(cid:80)(cid:98)(cid:106)(cid:127) (cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:127) (cid:98)(cid:116)(cid:127) (cid:116)(cid:110)(cid:80)(cid:118)(cid:98)(cid:80)(cid:102)(cid:103)(cid:123)(cid:127) (cid:99)(cid:116)(cid:108)(cid:103)(cid:80)(cid:118)(cid:87)(cid:86)(cid:127)
`(cid:94)(cid:108)(cid:104)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:116)(cid:108)(cid:119)(cid:112)(cid:85)(cid:87)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:127)(cid:84)(cid:123)(cid:127)(cid:118)(cid:97)(cid:87)(cid:127)(cid:85)(cid:97)(cid:80)(cid:106)(cid:106)(cid:87)(cid:102)(cid:127)(cid:112)(cid:87)(cid:95)(cid:99)(cid:108)(cid:106)(cid:10)(cid:127)
`
`(cid:8)(cid:7)(cid:78)(cid:13)(cid:63)(cid:49)(cid:61)(cid:64)(cid:69)(cid:2)(cid:78)(cid:9)(cid:78)(cid:16)(cid:68)(cid:49)(cid:75)(cid:61)(cid:65)(cid:56)(cid:78)(cid:41)(cid:59)(cid:54)(cid:53)(cid:70)(cid:69)(cid:78)
`
`TSMC 1025
`TSMC v. GODO KAISHA
`IPR2017-01841
`
`
`
`(cid:11)(cid:2)(cid:10)(cid:2)(cid:16)(cid:9)(cid:12)(cid:15)(cid:13)(cid:14)(cid:15)(cid:16)
`US. Patent
`
`(cid:7)(cid:10)(cid:9)(cid:2)(cid:15)(cid:3)(cid:4)(cid:1)(cid:15)(cid:3)(cid:6)(cid:6)(cid:5)(cid:15)
`Feb. 14, 1995
`
`(cid:8)(cid:12)(cid:10)(cid:10)(cid:14)(cid:15)(cid:3)(cid:15)(cid:13)(cid:11)(cid:15)(cid:4)(cid:15)
`Sheet 1 of 4
`
`(cid:6)(cid:1)(cid:5)(cid:7)(cid:8)(cid:1)(cid:7)(cid:4)(cid:3)(cid:16)
`5,389,810
`
`(cid:1)(cid:2)(cid:3)
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:1)(cid:12)(cid:5)(cid:12)
`
`
`
`(cid:3)(cid:7)(cid:31)(cid:34)(cid:32)
`
`(cid:3)(cid:4)
`(cid:1)(cid:4)
`
`
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:5)
`(cid:2)(cid:4)(cid:1)(cid:2)(cid:6)(cid:3)(cid:7)(cid:8)(cid:3)(cid:4)(cid:2)(cid:5)(cid:2)(cid:3)(cid:4) (cid:5)(cid:4)(cid:8)(cid:5)(cid:7)(cid:1)(cid:2)(cid:7)(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:3)(cid:1)(cid:2)(cid:5)(cid:4)(cid:6)(cid:1)(cid:7)
`
`(cid:2) (cid:1) (cid:4)
`
`(cid:3)(cid:4)
`
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:4)(cid:12) (cid:8)(cid:12)
`
`(cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)
`
`(cid:3)(cid:5)(cid:4)(cid:1)(cid:6)(cid:2)(cid:6) (cid:1)(cid:2)(cid:3)
`
`SENSINGSPEED
`
`(cid:1)(cid:4)(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:4)
`
`(cid:6)(cid:1)(cid:7)(cid:5)(cid:8)
`
`(cid:2)(cid:1)(cid:3)
`(cid:4)(cid:2)(cid:8)
`(cid:4)(cid:3)(cid:8)
`
`(cid:4)(cid:3)(cid:8)
`(cid:4)(cid:3)(cid:8)
`(cid:4)(cid:3)(cid:8)
`(cid:13)(cid:6)(cid:14)(cid:17)(cid:22)(cid:28)(cid:34)(cid:5)(cid:7)(cid:11)(cid:12)(cid:34)(cid:3)(cid:22)(cid:22)(cid:3)(cid:29)(cid:34)
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:2)(cid:12)(cid:6)(cid:12)
`FIG. 3
`
`MEMORY CELL ARRAY
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:2)(cid:3)
`(cid:1)(cid:3)
`(cid:21)(cid:18)(cid:23)(cid:9)(cid:24)(cid:10)(cid:18)(cid:15)(cid:34)(cid:19)(cid:8)(cid:34)(cid:23)(cid:18)(cid:26)(cid:22)(cid:5)(cid:7)(cid:34)
`POSITION OF SOURCE
`(cid:5)(cid:20)(cid:16)(cid:25)(cid:4)(cid:5)(cid:25)(cid:34)(cid:27)(cid:34)(cid:1)(cid:34)(cid:33)(cid:30)(cid:2)(cid:34)
`CONTACT x (pm)
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:3)(cid:12)(cid:7)(cid:12)
`
` g
`
`
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:2)(cid:10)(cid:3)(cid:6)(cid:9)(cid:7)(cid:8)(cid:9)(cid:10)
`US. Patent
`
`Feb. 14, 1995
`(cid:8)(cid:11)(cid:10)(cid:2)(cid:16) (cid:3)(cid:5)(cid:1)(cid:16) (cid:3)(cid:7)(cid:7)(cid:6)(cid:16)
`
`(cid:9)(cid:13)(cid:11)(cid:11)(cid:15)(cid:16)(cid:4)(cid:16)(cid:14)(cid:12)(cid:16)(cid:5)(cid:16)
`Sheet 2 of 4
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:1)(cid:6)(cid:3)(cid:2)(cid:8)
`5,389,810
`
`
`
`
`
`(cid:9)(cid:21)(cid:22)
`(cid:1)(cid:4)
`(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:2)(cid:1)(cid:2)(cid:21)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
` SENSING
`SPEED
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:5)(cid:10)
`(cid:5)(cid:10)
`(cid:2)(cid:3)
`(cid:6)(cid:10)
`(cid:7)(cid:10)
`(cid:8)(cid:10)
`(cid:2)(cid:3)
`
`(cid:6)(cid:4)(cid:8)(cid:15) (cid:6)(cid:5)(cid:9)(cid:15)
`(cid:1)(cid:14)(cid:13)(cid:2)(cid:15)
`0.6 0.8 (pm)
`(cid:12)(cid:11)(cid:15)(cid:1)(cid:15)(cid:10)(cid:12)(cid:7)(cid:3)(cid:15)
`LH=L2)
`
`(cid:5)(cid:7)(cid:6)(cid:1)(cid:3)(cid:8)
`
`(cid:5)
`
`(cid:6)(cid:10)(cid:8)(cid:2)(cid:14)(cid:5)(cid:14)(cid:13)(cid:1)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:2)(cid:3)(cid:1)(cid:4)(cid:5)
`
`(cid:2)(cid:3)(cid:1)(cid:4)(cid:6)
`
`(cid:5)(cid:9)(cid:7)(cid:1)(cid:4)(cid:10) (cid:12)(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:2) (cid:1)(cid:2)
`
`(cid:12)(cid:13)(cid:16)(cid:23)(cid:14)(cid:23)
`
`(cid:12)(cid:13)(cid:16)(cid:15)(cid:23)
`
`(cid:12)(cid:13)(cid:17)(cid:10)(cid:23)
`
`
`
`(cid:1)(cid:2)(cid:11)(cid:1) (cid:6)(cid:9)(cid:7)(cid:1)(cid:4)(cid:3)(cid:14)
`(cid:1)(cid:10)(cid:17)(cid:11)(cid:17)
`(cid:9)(cid:17)
`(cid:12)(cid:17)
`(cid:6)(cid:5)(cid:7)
`(cid:14)(cid:15)(cid:16)(cid:17)(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:7)(cid:8) (cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:1)(cid:5)(cid:6)(cid:3)
`
`(cid:2)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:5)(cid:5)(cid:6)(cid:5) (cid:3)(cid:3)(cid:4)(cid:2)(cid:4)
`(cid:1)(cid:5)(cid:7)(cid:6)(cid:4)(cid:2)(cid:8)(cid:4) (cid:1)(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:6)(cid:5)(cid:7)
`
`(cid:1)(cid:3)
`(cid:4)(cid:10)(cid:1)(cid:2)
`(cid:2)(cid:3)
`(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:2)
`(cid:1)(cid:3)
`(cid:4)(cid:10)
`
`ll
`(cid:6)(cid:9)(cid:8)(cid:1)(cid:10) (cid:2)(cid:3)(cid:10)
`m' '2
`
`é'fi-‘é
`_--_-_r- ‘h;
`
`(cid:13)(cid:17)
`(cid:12)(cid:14)(cid:16)(cid:23)(cid:10)(cid:23) (cid:8)(cid:1)(cid:11)(cid:18)(cid:23)(cid:5)(cid:23)(cid:19)(cid:23)(cid:7)(cid:23)(cid:19)(cid:2)(cid:18)(cid:3)(cid:20)(cid:4)(cid:18)(cid:23)(cid:6)(cid:23)(cid:9)(cid:2)(cid:1)(cid:3)(cid:3)(cid:4)
`(cid:4)(cid:8)
`5.1
`FIG.
`II
`(cid:5)(cid:7)(cid:6)(cid:2)(cid:8)(cid:7)(cid:7)(cid:8)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`
`
`(cid:4)(cid:1)(cid:3)(cid:1)(cid:9)(cid:2)(cid:5)(cid:8)(cid:6)(cid:7)(cid:8)(cid:9)
`US. Patent
`
`Feb. 14, 1995
`(cid:9)(cid:12)(cid:11)(cid:2)(cid:17) (cid:3)(cid:6)(cid:1)(cid:17) (cid:4)(cid:8)(cid:8)(cid:7)(cid:17)
`
`(cid:10)(cid:14)(cid:12)(cid:12)(cid:16)(cid:17)(cid:5)(cid:17)(cid:15)(cid:13)(cid:17)(cid:6)(cid:17)
`Sheet 3 of 4
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:1)(cid:6)(cid:3)(cid:2)(cid:8)
`5,389,810
`
`(cid:2)(cid:1)(cid:4)(cid:5)
`
`(cid:2)(cid:1)(cid:3)(cid:5)
`
`(cid:2)(cid:4)(cid:7)(cid:11)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:3)
`
`(cid:2)(cid:3)
`
`(cid:8)(cid:11)(cid:10)(cid:1)(cid:12) (cid:4)(cid:5)(cid:12)
`
`(cid:2)(cid:4)(cid:10)(cid:11)
`
`(cid:2)(cid:4)(cid:8)(cid:11)
`
`(cid:2)(cid:4)(cid:6)(cid:5)(cid:7)
`(cid:3)(cid:4)(cid:6)(cid:1)(cid:7)
`
`(cid:2)(cid:4)(cid:6)(cid:1)(cid:7)
`
`(cid:5)(cid:8)
`(cid:1)(cid:2)(cid:3)
`
`(cid:1)(cid:2)(cid:3)
`
`
`
`(cid:9)
`
`(cid:1)(cid:2)(cid:3)
`
`(cid:5)
`(cid:6)
`
`(cid:2)(cid:1)(cid:4)(cid:5)
`
`(cid:2)(cid:3)
`
`(cid:1)(cid:2)
`(cid:3)(cid:1)(cid:7)(cid:8)
`
`(cid:5)(cid:8)
`
`(cid:1)
`
`(cid:1)(cid:2)
`
`(cid:1)(cid:3)
`
`(cid:2)(cid:3)
`(cid:4)(cid:2)(cid:6)(cid:8)
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:2)(cid:12) (cid:4)(cid:6)(cid:12)
`
`(cid:3)(cid:4)(cid:1)(cid:11)
`
`(cid:8)(cid:11)(cid:10)(cid:3)(cid:12) (cid:4)(cid:7)(cid:12)
`
`(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:5)(cid:1)(cid:7)(cid:2)(cid:3)(cid:7)
`
`FIG. l6
`
`
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:2)(cid:10)(cid:3)(cid:6)(cid:9)(cid:7)(cid:8)(cid:9)(cid:10)
`US. Patent
`
`Feb. 14, 1995
`(cid:7)(cid:10)(cid:9)(cid:2)(cid:15) (cid:3)(cid:4)(cid:1)(cid:15) (cid:3)(cid:6)(cid:6)(cid:5)(cid:15)
`
`Sheet 4 of 4
`(cid:8)(cid:12)(cid:10)(cid:10)(cid:14)(cid:15)(cid:4)(cid:15)(cid:13)(cid:11)(cid:15)(cid:4)(cid:15)
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:1)(cid:6)(cid:3)(cid:2)(cid:8)
`5,389,810
`
`(cid:5)(cid:4)(cid:2)(cid:6)(cid:8)(cid:9)
`
`R=5kn
`
`(cid:10)(cid:6)(cid:7)(cid:9)(cid:1)(cid:13)
`
`(cid:10)(cid:6)(cid:13)(cid:5)(cid:4)(cid:2)(cid:13)
`
`(cid:8)(cid:11)(cid:10)(cid:1)(cid:12) (cid:3)(cid:4)(cid:7)(cid:12)
`FIG.
`|7A
`
`(cid:5)(cid:4)(cid:3)(cid:7)(cid:1)(cid:9)
`
`
`
`(cid:10)(cid:6)(cid:12)(cid:11)(cid:13)
`
`(cid:10)(cid:6)(cid:8)(cid:9)(cid:3)(cid:13)
`
`(cid:9)(cid:11)(cid:10)(cid:2)(cid:12) (cid:3)(cid:5)(cid:6)(cid:12)
`
`FIG.
`
`|7B
`
`
`
`(cid:1)(cid:2)
`1
`SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING AT LEAST
`(cid:26)(cid:8)(cid:20)(cid:4)(cid:22)(cid:21)(cid:7)(cid:29)(cid:5)(cid:22)(cid:25)(cid:34)(cid:6)(cid:8)(cid:30)(cid:14)(cid:4)(cid:8)(cid:34)(cid:13)(cid:3)(cid:30)(cid:15)(cid:12)(cid:34)(cid:3)(cid:27)(cid:34)(cid:17)(cid:8)(cid:3)(cid:26)(cid:27)(cid:34)
`ONE SYMIMETRICAL PAIR OF MOSFETS
`(cid:22)(cid:21)(cid:8)(cid:34)(cid:26)(cid:31)(cid:27)(cid:25)(cid:14)(cid:4)(cid:3)(cid:17)(cid:34)(cid:24)(cid:3)(cid:16)(cid:34)(cid:22)(cid:10)(cid:34)(cid:18)(cid:22)(cid:26)(cid:10)(cid:8)(cid:27)(cid:26)(cid:34)
`
`(cid:5)(cid:1)(cid:4)(cid:6)(cid:7)(cid:1)(cid:6)(cid:3)(cid:2)(cid:8)
`5,389,810
`
`10
`(cid:29)(cid:20)(cid:143)
`
`BACKGROUND OF THE INVENTION
`(cid:43)(cid:42)(cid:44)(cid:52)(cid:49)(cid:57)(cid:56)(cid:61)(cid:55)(cid:45)(cid:143)(cid:56)(cid:47)(cid:143)(cid:59)(cid:50)(cid:46)(cid:143)(cid:51)(cid:55)(cid:62)(cid:46)(cid:55)(cid:59)(cid:51)(cid:56)(cid:55)(cid:143)
`1. Field of the Invention
`(cid:27)(cid:14) (cid:47)(cid:93)(cid:75)(cid:107)(cid:74)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:51)(cid:114)(cid:133)(cid:75)(cid:114)(cid:126)(cid:93)(cid:116)(cid:114)
`The present invention relates to a semiconductor
`(cid:59)(cid:91)(cid:75)(cid:143) (cid:119)(cid:122)(cid:75)(cid:125)(cid:75)(cid:114)(cid:126)(cid:143) (cid:96)(cid:115)(cid:133)(cid:75)(cid:114)(cid:126)(cid:93)(cid:116)(cid:114)(cid:143) (cid:122)(cid:75)(cid:107)(cid:66)(cid:126)(cid:75)(cid:125)(cid:143) (cid:126)(cid:116)(cid:143) (cid:66)(cid:143) (cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:93)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)
`device having at least one symmetrical pair of MOS-
`(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:143)(cid:91)(cid:66)(cid:133)(cid:93)(cid:114)(cid:89)(cid:143) (cid:66)(cid:126)(cid:143) (cid:107)(cid:75)(cid:66)(cid:125)(cid:126)(cid:143) (cid:116)(cid:114)(cid:75)(cid:143) (cid:125)(cid:136)(cid:112)(cid:112)(cid:75)(cid:126)(cid:122)(cid:97)(cid:73)(cid:66)(cid:107)(cid:143) (cid:119)(cid:66)(cid:96)(cid:122)(cid:143) (cid:116)(cid:77)(cid:143) (cid:19)(cid:23)(cid:26)(cid:33)
`FETs (metal oxide semiconductor field effect transis-
`(cid:47)(cid:46)(cid:59)(cid:125)(cid:143) (cid:2)(cid:112)(cid:75)(cid:126)(cid:66)(cid:107)(cid:143) (cid:116)(cid:135)(cid:93)(cid:74)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:96)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143)(cid:85)(cid:75)(cid:107)(cid:74)(cid:143) (cid:75)(cid:84)(cid:75)(cid:73)(cid:126)(cid:143) (cid:126)(cid:122)(cid:66)(cid:115)(cid:125)(cid:93)(cid:125)(cid:8)
`tors).
`(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:125)(cid:3)(cid:14)(cid:143)
`2. Description of the Related Art
`(cid:30)(cid:15) (cid:45)(cid:75)(cid:125)(cid:73)(cid:122)(cid:96)(cid:119)(cid:126)(cid:93)(cid:116)(cid:114)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:57)(cid:75)(cid:107)(cid:66)(cid:126)(cid:75)(cid:74)(cid:143)(cid:42)(cid:122)(cid:127)
`A semiconductor device such as a sense amplifier is
`(cid:42)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:113)(cid:93)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143)(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:132)(cid:73)(cid:91)(cid:143)(cid:66)(cid:125)(cid:143)(cid:66)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:114)(cid:125)(cid:75)(cid:143)(cid:66)(cid:112)(cid:119)(cid:107)(cid:96)(cid:85)(cid:75)(cid:122)(cid:143)(cid:93)(cid:125)
`provided with a pair of MOSFETs.
`(cid:119)(cid:122)(cid:116)(cid:133)(cid:93)(cid:74)(cid:75)(cid:74)(cid:143)(cid:134)(cid:97)(cid:126)(cid:91)(cid:143)(cid:66)(cid:143)(cid:119)(cid:66)(cid:96)(cid:122)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:54)(cid:56)(cid:58)(cid:47)(cid:46)(cid:59)(cid:125)(cid:16)(cid:143)
`In recent efforts for increasing the memory capacity
`(cid:1)(cid:3)(cid:4)(cid:122)(cid:75)(cid:73)(cid:75)(cid:114)(cid:126)(cid:143)(cid:75)(cid:84)(cid:116)(cid:122)(cid:127)(cid:125)(cid:143) (cid:86)(cid:122)(cid:143)(cid:96)(cid:114)(cid:73)(cid:122)(cid:75)(cid:66)(cid:125)(cid:97)(cid:115)(cid:89)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143)(cid:73)(cid:66)(cid:119)(cid:66)(cid:73)(cid:93)(cid:126)(cid:136)(cid:143)
`15
`(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:93)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143)(cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143)(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:5)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:93)(cid:137)(cid:75)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:8) (cid:25)(cid:37)
`of the semiconductor memory device, the size of mem-
`ory cells has been reduced and the integration level of
`(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143)(cid:73)(cid:75)(cid:107)(cid:107)(cid:125)(cid:143)(cid:91)(cid:66)(cid:125)(cid:143)(cid:71)(cid:75)(cid:75)(cid:114)(cid:143)(cid:122)(cid:75)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:75)(cid:74)(cid:143)(cid:66)(cid:114)(cid:74)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:96)(cid:115)(cid:126)(cid:75)(cid:89)(cid:122)(cid:66)(cid:126)(cid:93)(cid:116)(cid:114)(cid:143)(cid:107)(cid:75)(cid:133)(cid:75)(cid:107)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)
`the semiconductor memory device has been enhanced.
`(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:96)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143)(cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143)(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:143)(cid:91)(cid:66)(cid:125)(cid:143)(cid:71)(cid:75)(cid:75)(cid:114)(cid:143)(cid:75)(cid:114)(cid:91)(cid:68)(cid:114)(cid:73)(cid:75)(cid:74)(cid:14)(cid:143)
`In order to increase the memory capacity of the semi-
`(cid:2)(cid:3)(cid:4)(cid:116)(cid:122)(cid:74)(cid:75)(cid:122)(cid:143)(cid:126)(cid:116)(cid:143)(cid:93)(cid:114)(cid:73)(cid:122)(cid:75)(cid:66)(cid:125)(cid:75)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143)(cid:73)(cid:66)(cid:119)(cid:66)(cid:73)(cid:93)(cid:126)(cid:136)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:93)(cid:138)
`conductor memory device, it is also required that the
`(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143) (cid:112)(cid:75)(cid:112)(cid:116)(cid:122)(cid:136)(cid:143) (cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:6)(cid:143) (cid:93)(cid:126)(cid:143)(cid:93)(cid:125)(cid:143)(cid:66)(cid:107)(cid:125)(cid:116)(cid:143) (cid:122)(cid:75)(cid:121)(cid:132)(cid:93)(cid:122)(cid:75)(cid:74)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:66)(cid:126)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)
`20
`(cid:125)(cid:93)(cid:137)(cid:75)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:66)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:114)(cid:125)(cid:75)(cid:143)(cid:66)(cid:112)(cid:119)(cid:111)(cid:93)(cid:85)(cid:75)(cid:122)(cid:143)(cid:71)(cid:75)(cid:143)(cid:122)(cid:75)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:75)(cid:74)(cid:14)(cid:143)(cid:49)(cid:75)(cid:114)(cid:75)(cid:122)(cid:66)(cid:107)(cid:107)(cid:136)(cid:5)(cid:143)(cid:134)(cid:93)(cid:126)(cid:91)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143) (cid:31)(cid:20)(cid:143)
`size of a sense amplifier be reduced. Generally, with the
`reduction of the size of the semiconductor device, the
`(cid:122)(cid:75)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:93)(cid:116)(cid:114)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143) (cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:95)(cid:137)(cid:75)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143) (cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:125)(cid:75)(cid:112)(cid:93)(cid:73)(cid:116)(cid:114)(cid:74)(cid:132)(cid:73)(cid:126)(cid:116)(cid:122)(cid:143)(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:99)(cid:73)(cid:75)(cid:5)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)
`shape and size of the device element are liable to change
`(cid:125)(cid:91)(cid:66)(cid:119)(cid:75)(cid:143)(cid:66)(cid:114)(cid:74)(cid:143)(cid:125)(cid:93)(cid:137)(cid:75)(cid:143)(cid:116)(cid:77)(cid:143)(cid:126)(cid:91)(cid:75)(cid:143)(cid:74)(cid:75)(cid:133)(cid:93)(cid:73)(cid:75)(cid:143)(cid:75)(cid:107)(cid:75)(cid:112)(cid:75)(cid:114)(cid:126)(cid:143)(cid:66)(cid:122)(cid:75)(cid:143)(cid:107)(cid:93)(cid:66)(cid:71)(