`
`@figee
`
`%%%fi%¥fflilfi/jwfé§fifi éflfdfifiu‘flfi
`
`
`
`(11) @hfifififiéfi-
`
`W096/25020
`
`PCT
`
`(51) @%fi?¥fifio
`
`H05B 33/00
`
`(21) as: thE§%
`(22) game El
`
`(30) iii?— 9
`(arm 317141267
`rm 927/49089
`41m ¥7/299111
`
`(43) [fifi/Afifi Ei
`
`19964¥38H 15 E! (15.08.96)
`
`PCT/JP96/00233
`199641525 5 E! (05.02.96)
`
`(81) #57125
`CN, us, mi‘lfififin, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE.
`rr, LU, MC, NL, pr, SE).
`
`19954482)? 6 El (06.02.95)
`199543525 14 B (14.02.95)
`1995931013 24 E1 (24.10.95)
`
`mfififlfi§fi
`
`ElfiHEfiLE¥
`
`
`
`(71) (flak (*Eé’fiK flx’ftbi‘fi’i’alzowt)
`mfiflfifikiéfimww KOSAN co., LTD.)[JP/JP]
`'"r 100 ififiiflfia EnwWET E 1%]48— Tokyo, (JP)
`(72) 3§|¥i%‘ ; is; U
`(75) fiflflfi/flifik weakening)
`fit}!
`EEQEIDA, Mitsuru)[l'P/JP]
`iaifiIEwMATSUUR/x, Masahide)[IP/JP]
`Kififiitaomm, Hiroshi)[JP/J]’]
`$299.02 :Ffifiiaa—ifirfitfilzsofiifi
`maagmtérm Chiba, (JP)
`(74) REA
`#Ei zamgfi, 57HWATANABE, Kihci at al.)
`¥ 101 ififlWfiEBlZWmfiBm—T 55%
`7’34 7‘? y I~ tun/31% Tokyo, (IP)
`
`(54) Title : MULTI-COLOR LIGHT EMISSION APPARATUS AND LIETHOD FOR PRODUCTION THEREOF
`
`60¥W®fifi 5&%%%Efi;0%mflfififi
`
`5
`
`3
`
`WW
`m“\\\\\\\\"z
`VIII/Illllllmr
`/ M“““\‘ ‘4’
`WHHIIIIIIIIIA 2
`
`(57) Abstract
`
`This invention provides a multi-color light emission apparatus wherein a transparent glass substrate (4) is
`disposed between an organic EL device (1) and a fluorescent layer (3) in such a manner as to arrange the fluorescent
`layer (3) with a gap with the organic EL device (1), and the organic EL device (I) is sealed by seal means (5)
`between the transparent glass substrate (4) and a support substrate (2). The invention provides aJso a multi-color light
`emission apparatus wherein a transparent insulating inorganic oxide layer (12) havin a thickness of 0.01 to 200 pm
`is interposed between the fluorescent layer (3) and the organic EL device (1).
`In
`‘ way, light emission life and
`angle-of-field characteristics can be improved.
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 1
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 1
`
`
`
`(57) ms
`
`fifiELi¥ltfifiwE3t®fiE‘fifiELi¥tfifiéR
`
`fiLmfiafififigs%Efiiéfi%fifiz§fi4émfiLy
`
`:0)
`
`fiflfifizgfi4tifififi2&mfiffifiEL$¥léfii$&
`
`5KiOTfiiLTU5§E%%§ET550
`
`ifa fiffififiBéfiHE Li¥l éwfisflfi:\ Eé’ifi‘o.
`
`01~
`
`2 0 0 ummfiflflflififiE—Efififififtwlgl 2 ’EEEEQLTD‘J55E3’E
`
`%
`
`’EE’EZB?“
`
`¢wvg
`
`—K
`
`—
`
`hm;of%%§fifiiUfififi%fiéfliéfié
`
`tlmHE6n.3IQwdiKTCP
`
`Mflebromfiok
`5n.3EIKbt5TEmkEIMTCP.KaQFa}V7Vo\I
`
`_j
`
`F
`
`TEjxV?
`
`AAAAABBBBBBBBCCCCCCCCC
`LMTUZABEFGJRYAFGHIMNUZ
`
`TTttTfixx77x74rW=x=t¢#i
` .7V:y#::F+ATF~9w.._:Aizzwzx¥flvadexb»y»w__fz»w
`
`w+55+ky4_iflaz
`7+»E79?“k77954.1
`
`4‘l_
`
`DDEEFFGGGGGHIIIIJKKKKK
`
`EKESIRABENRUELSTPEGPRZ
`
`F71277fl4¢¥¥n7474fl#*flkfi
`4y;&45fi#w:9y424a*:wfihf
`wvb4yyyHVT9flmfixv7¥EE7
`
`_:y52z?v97177Xian
`FFPy.ywy
`
`
`LLLLLLLLMMMMMMMMMNNNN
`ICKRSTUVCDGKLNRWXELOZ
`
`
`9tz9v9»5%%77V7%%7}:#/:
`
`7L7Ub7tfizkflrravvvxy»_
` _::wiyny7:y4Vx:kwa4=_¥7
`
`
`tyuxyr7r+w¥749y.7#v7_1
`
`_
`
`PPRRSSSSSSSTTTTTTUUUUV
`
`LTOUDEGIKNZDGIMRTAGSZN
`
`fifikuxxvzxtzTFFFFFVVTOV
`firvYVIflVVflVFg$9==5yvxx
`
`Fw7fl7:2,.V.9:I;A51;
`Vfl:!y_£:7»5x}i4!fl#b
`_W_v_7ynu*9?_ywwyflfl}14
`VW7TFV2F*FA
`
`7.EV
`
`V
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 2
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 2
`
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/”96100233
`
`-1-
`
`B)?
`
`#33 E
`
`£fifi§é§fi£¢zfi7c®flifififie
`
`5565535
`
`*fi'wuk §E%J‘E§ESJ:U%0§¥%75$KE§?5° 8 6523*
`L < tififififi'fiflODVIDf-fifi—i fzci7)b715—®§§§27“4 27'
`1/4 tzfifilzfifiwénégégéfi'égfifiitfi‘EUDEi‘é‘fiElzfifi‘fi‘éo
`
`fififim
`
`11/7 I‘D)b5*‘7t‘/2$¥ (DITEL$¥&L\5) an aa
`fifimtbm%%fi%<\it$éfi¢mtbfifi¥fimfinéé
`m5%&éELT$D\EE\mfi‘fi&mé%%fifigmmmt
`EbflEL$¥#E$$n\$fiflfifi$éhfhéoCwifik
`03—0&L'C\ EL§¥éfi§ht§EfifiE%E%$Hélézffi‘fé
`6°
`
`:®§@%%%E&qu\$fBE%fi®fifiEL$¥KEE
`@(fi.fl,§)ww5—74w9%3ELtwaifiéwmfi
`EL$¥Emaflfi—;77LTEEEELi?é$fiflfififlfi
`L'toDiéy‘EéfiflaszODffiéié (Semicond. Sci. Technol. 6(19
`91)305-323)
`o Lb‘Lfib‘V’9\ EELi’ééEEEfltfi—74 11/9?
`fifit5t\Efiém—Emfififi$fi\%haéw%n®3fim
`1 (33%) lzfifiién’cti")ckm‘fiFn'iEfiiafco 345:3 El
`E%%%$;<%%éfiaztwfi§5$¥%mb®m\ififia
`nTL\fJL\0)7b€fibET“ibéo
`
`—E\EL§¥®N9—;y7Km7tFU77574-Eflfi
`ménrmabx Ewatétibxw b7'utXTciEL§¥®§w$
`3xvfiifimfiTfiEflLmzkfiménfhéo
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 3
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 3
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96I00233
`
`ELi¥o¢rb‘fiaEL%§#%fi§\am$m%%i¥&
`
`Lffigfiééctflmanfméofin‘%%Efifi&%fifia
`
`kb\fikm%%@fififimwfi¥%fiuxbfiénéflfififi%
`
`(xfifiELi¥®¥mm®—O<\§E%%%E«®mmfi
`
`flfiénrmao
`
`LbLufié\fifiELfi¥Mfl%#%®mfifixfii\fiiU
`
`Emmwfix%®miflgflm;b\fifiwfiiuHfiLrfifim
`
`ET%@%m#E:D\it\$¥fiflfififi¥®fifimmfigfi
`
`Taétb\fi‘itu§¥%®%&W(mmw)§flmxbkfi
`
`WWfiLfitm&m5fiEfi5oto
`
`Ltfiof\§em®tbu\EEE(RGB)®%%é?6§
`
`kwfiwELi¥é$fiwwfimmat6fiEu\7¢buv75
`
`74—mefiu\Ulvbfl\iKMEMEmi57utxrm
`
`Hgfi'fié ate
`
`:m;5ufi%éfim16kb\ttiwfi8flufit\fifi2
`
`tflT$$filCéfififi®i%$filaéflioffiihtEL
`
`%%Elbé$fi\flfifi%fl$fi1aéfibrmbwéntEL
`
`%%\fififi%fi%fi1a&fiflLTfi%fi§fisiufiwént
`
`fi5—74w?9%fiLTWEEfifiEfi8flKW0$?Z&E%
`
`&wa—ELF417D4§EfifiiénTm5(%%%6
`
`4-40888%£fi)o
`
`LbLH#B\C®§ETH\ELfifififi5—74wycia
`
`1‘—o®%%&®fi§fi%b3fi®1Efi9LTL§5oitx
`
`EL(i?)éfi5—74wyfifimiéltuibxfi5—74
`
`wybe%itémfifi\Miitufifimw%lv—‘fifi¥fi
`
`figmfixuxof\EL$¥®%%%fififiTt5ztéfiwé
`
`r. tzfi‘fiéfxiroto
`
`war\fififm\fifiELi¥®%%%fimfimtéfifi(E
`
`Eitufifl)KxfiEEL§¥®%%%&WLTHE%®fi%é
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 4
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 4
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTIJP96l00233
`
`%%tafi%wgéaataafi%fifisnrma(%fi$3—1
`
`52897%&fi)°Imfifimxnfl\WimfiwEL$¥®%
`
`Eitufifié®%%KWL\$0Efi§®fififi~wmfimifi
`
`fiflfiT$éo:mfimmmthTfiitmfiEuamfigéfi
`
`fiwgéfifimufifimfiLtgé(Efié)%%¥§fififién
`
`1m5(%%¥5—258860%£fi)o
`
`::T\fififigéflfi?6XUvbu\fi5—74W9%%E
`
`Ltgéékfitr%%$mfigfifififififiééc&u56°t
`
`mbt‘fifiELi¥h鮧@%%mflbf\EKEEN®£fi
`
`fififimfifi%%®mflfl$fiwfl<é§80%uifiéakLT\
`
`muwWLtfimfiLrwfi<&§80%utmfi$fifi%é%%
`
`tééfiwfifififl#Ménrmaofior‘80%mmwfi$&
`
`80%®fi%fi$é%fii?6&\fifiEL§¥®§E%%®64
`
`%fiEfiE®flfi%K§m?6:&#T§6fi§mfi6o
`
`:mxéqufi$EL%¥&fifiwgémmrza%%§fié
`
`fié:&fifi$6#\%fi$5—258860%£fifl;6&\%
`
`mzfi%%%fimfifikLTumeémfiieréo
`
`ifib5\filBEKiiiéflfiflfifiillufifiELi¥
`
`10%fiéflfltr%n€nfifi,figmfifié%%¢5fi%¢3
`
`R.3GE$EWKQfiREL‘%0fi%fi3R,3Gé§tfi%
`
`5&1limfififiv—itufiU?—®Eé3iU/§kd¥
`
`fim‘fwfwfiazfigmxéfiwmfifififififigifimg(
`
`fifiE)7ézEy#+szTfiEL\%®$Efl%7iufim
`
`EL$¥1®EW¥ElaERELTM5O
`
`§t\WwfifléLT\fi%fi$fififififiié$flfififigi
`
`Efififitmey$+xbiéfibbu\$Kfififi§fimfifi
`
`Ltb\Efiwtfiufififiéfifiéfiéfihbmfififlgmmfi
`
`éfifiiéfifiginfiflfifiwéfifiéfi5:k$$fiénf
`
`VEHOK $1 5I®f§b3203757b€ll¥§ Lhtiaifiénfwéo
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 5
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 5
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`L#L\£15mm%#m&6%3\fifie/v—gtufiu7
`—®Eé£iU/§tm¥fimm¥fimfiimfimELi¥®fiw
`EEéEELtfiUTm\$Eflfi®fififlmfifium§§tufi
`
`inrwamfii.fifiitM%/v—%®fixc;of\fifiE
`
`Li¥0%%%fi%¥L<fiTéfi\$fi—fi%%&fiégéé§
`um&m5%%fi$oto
`
`it‘ ‘J‘Jb/f‘Jl/fi-b’zfiiiuc;5$E1tl§®¢§21zcififi4 O O
`
`Tuiwgfiflfifi%ET\Cotb\fifi%0fi%¢%%méfi
`
`5:&ua5°%:T\fi%¢%%méfimhmmfl(fixzso
`
`TEE)T‘fwfwfifixfifikEEWflTééxkxufifim
`
`#Efier5tb\%&WCE$T\EEEL§¥®%%%®E
`¥L<fiT$&5&m5%Efi5ato
`
`itxmfiwwfimm%é\Efiginamfflfiflfiwfi%f
`
`L§+finuénfibato
`
`—fi\MfiEL§¥mfi52§fi®§fimha—74wyémm
`Ltfiaxfiéflfitéfififififiénrm5(%%E57—11
`
`9494%£fi)o
`
`LmL\:®E&Tu‘fiKEfithficfia—74w7m;
`
`6%%%$®D1fifigt¥fiénézémmif\fifiELi?
`éfifi—74k9ééflfitffifii5tbxWiflm%ELi¥
`0Efi053é5<tflhé(£3;%700umui)\§fi®
`%D\@fi&®fi%fi%$L‘£ELTEL$¥EW¥T5Céfi
`
`TgflfiotoL#b%®EW%E<Lt%%\W5—74wyé
`
`ELi¥é®¥v77fi$fiD\§@%%éfi5%§\fi$®%%
`Eflfl®%%éfifinm1‘fififi#%L<fiTtééméfififi
`35 o to
`
`Xfiwmifiofifiufiamgntborab\§ntfifi£fi
`
`éfi?5&&bu‘§ntfififififiéfii6fi&EL$¥émm
`t§@%%§fiéfifiiél&\8iU:®§E%%§Eé£EK\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 6
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 6
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`-5-
`fi$¢<fifitéitfifé53%?Efi?6:&éfifl&iéo
`
`%%®Ei
`
`Liafiéfimtatw\xfiofilfiwu;nm\i%§fiéx
`:0ifififiiflfiflbtfifl1V?bfiwi$vtyx(EL)
`
`§¥t\:mfimELfi¥bémfifiéwuLT£uokfififiw
`
`fifiéfifibfia;5u:mfimELfi¥®aw§fiitmgfim
`
`fimerfiLtfi%wg&éfiitgafifififiusmr\m3
`
`fifiELi¥tfififigéwfiK‘fifiEL$¥éfifiéfifiLfl
`
`#éfififigéfifiiéfiwmfifimmgfiémaL\:wfiwm
`
`mfimmgfi&mfii%§fiémfiffimEL$¥éfimifimg
`
`orfimLru6:té§fi&t5§&%%§fiflfifién5o
`
`it\%®fiiLwfifikLr\mfimfiwgfixmfifimmw
`
`Mmmgfitmfifimmfifimfiénfu5:ééfifié¢5zé
`
`%%¥Efifiénao
`
`it\%®EiLwfifi<\fififi%¢Eiu\ééufifi
`
`W§$E3;U/itu§%§fiéfl%Ltztéfifiéiéfié
`
`%%§Efiméfl6o
`
`§t\%mHiLmfifitLr\ma%%m&&m%§fimfig
`
`fi\1~200um?$6l&é%fi&?é§é%%§fifififié
`
`n50
`
`it‘ééufiiLwfifiéLT\fififififimmgfififimm
`
`fiaxfivba:&é%&&té§é%%§fifififignéo
`
`$t\$fl®%2%%flinflxfififi%§fié\%®E%§fi
`
`Efiim$fimufifimfiLtfififigt\%®fi%¢§mifii
`
`tuifimfi3LtE$xvabnws*vtyz(EL)$¥&
`
`éfiL\%®fifiwgm%n%nfififiELi?#é@%%éfifl
`
`Lrfimotfifi%®fi%%%%L%a;5KfifiwgtfifiEL
`
`$¥wfiwafixuafitéfimL1EELtzéfififiansm
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 7
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 7
`
`
`
`WO 96125020
`
`PCTlJP96/00233
`
`1‘mafifiwgtfiwELi%§mgu\Egmo.01~2o
`
`oummfiwflfififimwfiwmgém%Lruacééfifit?
`
`agafififigfifiménao
`
`§t\f®fi§LMEE<\fifififififiéfi%flfifififi
`fi&m%E&®fin\fiwufifififiafist/itmfiwufi
`
`fifiémaLruazééfifiét5zfifififiamfifiénéo
`
`atx%®fi:me&aLr\mafimmmafimw&mmfi\
`
`fiwfimfifimfiaxfifiéécééfifié?5§fi%%§fiflfi
`
`#énéo
`
`§t\%mfl$Lmfifi&Lr\fififimmfifififimfimmfi‘
`
`&fl:“/U :J‘/\ fift7il/ELOLM isatv‘flfti-y Vfi‘BHéfi/J‘
`
`éfifln5—EfliGRQWT55:&é%fit?5§fi%%§fi
`
`fifiménao
`
`§t\%®fiiLm$fiéLT\mfifiwumfifimfiMRMfi\
`
`ENE-w) 137‘ fi4t7wi;om fictzFEMt—ffirybxetizafib‘
`
`éfimné—Emiwmémé\fimfifififimfiazfiwifii
`
`tmTfimwm<éb—fiuflfiLTmabQT55:&é%&é
`
`tagéfifigfififiménao
`
`éém\$fl®%3%wuxnd\fiwifi§fiic\fimEL
`
`$¥®%%%WWLffifiotfifi%®fi%%%%?éfifiwgé
`
`fifimcfi%EEL\:®fi%mgmtfiitmifimfifiELfi
`
`$é%®fi%§fi1fi§fififi%figufim?éifiufifitég
`
`fifififiamflfififiusmf\(A)fi%i%§fitnfi%¢§
`
`é$fiflufifififitalfi\(B)fi%¢§i\3xvfi%wg
`
`#fififimfifim$éntfi%§%§fitu\fiwflfifiwfifig
`
`fiiU/Etufiwflfifigéfifiiélfi\(C)fi%EL$¥
`
`wfifiéfiéfifiLt\Rmfimfiflékflia%E®\Eél~
`
`200pmwfiwmfiafimfiaxfi\itummvuny\fim
`
`7ws;¢A‘B;U&m%9>#étafi#é%dn5—Eflt
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 8
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 8
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`wwé%é\fi%umfifi®fi§§fiwifiituTE®wfl<é
`
`b—finfifitt§®é‘fifififlflfifififififiitmfiflfifi
`
`EEicfiét6IE\3;U(D)fi%§Efi%fi3ntfiaz
`
`fitmfiflELfi¥mfi3%E£;UEE%m&EE151E\é
`
`fii5:&é%&&t6%éfifififiwflfifiifififiénéo
`
`$fimfi1~¥3fiwmxof\ant%%£fiéfiiékéb
`
`K~Entm§fi%fiéfit6fifiEL§¥émmtggfifiéfi
`
`fitaz&fifééoit\:®§E%%§E%£EK\fi$x<
`
`fifi?5fi&éfifi¢5:&fif§éo
`
`Efi®fi$flfiw
`
`filflu\$%wmgfififififi(%1%%)®—%mfléfifi
`
`Wnfi?m%fififlfiafio
`
`fiZEu‘$%%®§E%%%E(%1%%)®\fi%wfifig
`
`émmtm®%mM%EEMK%?mmfifiET56°
`
`fi3mm\$%mmgfififififi(%1%%)®\fi%§fi%m
`
`mtfléfifiwnfithfifimfaéo
`
`%4Em\$%wogéfifigfi(%1%%)®\fi%EELt
`
`fififigémmtfiwimwéfifiwmfith%fi@?56°
`
`$5EH\$%%@§@%%§E(%1%%)®\fi5—74w
`
`yfiiv75v77bUv7xémhtW%fifiWKfiimm%E
`
`fifiééo
`
`fisflm\$%%wfia%figfi(%1%%)®\fi%W%§E
`
`5;UfiwgfiémmtmwimfléfifiWEfifmfifififlfé
`
`5°
`
`$7Eu\m%WE%E%fi5x§fimfifiELi¥&WUMK
`
`$Ht\fi1%wmfiffiwKW%fifi%Kfiimwfififlfii5°
`
`fismmxfi¥®§E%%EE®%%fifi%K%?mm%EET
`
`355°
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 9
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 9
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96100233
`
`$9flu\$%ww§@%%§%(%2%%)@—¥mfléfifi
`
`Whitmfifififlfibéo
`
`filoflu\ifiwmgfififififi(%2%%)®\E%EEE
`
`éfimtflwimwéfifiwnfithfififlfifi$0
`
`$11Em\$%%wfifi%%fifi(%2%%)®\E%EEE
`
`s;Uiflfifififififiémmtflmififléfififitfi?fi$fi
`
`EETé$°
`
`filzflm\$%%mgfififififi(%2%%)m‘fiflfifiw
`
`fifigémwtfimimfléfifimmfi?EMMEETa60
`
`$13flm\$%%®§é%%%fi(%2%%)®\E%EEE\
`
`fiflfifiwfifigxfi9—74wysivjfiv77buv7zé
`
`mmtflwimfléfifiwflfiimfifififlfaao
`
`$14Eu‘$%%®§E%%§E(%2%w)wfiflfifigs
`
`iUfi%fi%¢fi§E\fiflfififififififiwgézgmwtfim
`
`imméafimni¢\EM%Emraao
`
`filsflm\fi$0§E%%%E®Wéfifimmfi¢mm%fifl
`
`T550
`
`fiwéibfiigtbmfifimfifié
`
`£11K Kiéflfioogéfisa'égais;3%mflififi2‘dfiéfiwmzzéfiflfi
`
`#60
`
`21:%Bfij®fiflE Lgéfifi’éfific‘: L'cm firm L§¥®%¥é(
`
`%z:%&irzc:%fifi) mafia.
`
`fifiLénfi‘k §b$$<fi¥éfiigt
`
`$211231)” box %%Lf:fif¥fii’é0>fii’ébfifi§. fifiLéha‘k ”$13
`
`«mbmfiéfififiéécéfifififiééo
`
`I.§E%%§E(%lfi%)
`
`iifiéfié¢é&\$fl®%1%%fl‘Efimfid\UTwfi
`
`512(1) ~(3)€'$U’Zo:&7b§’fiééo
`
`CODFEER (1) ~ (3)
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 10
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 10
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/”9000233
`
`ux%n€n%1fl~%3mu%§naomsxfifiwuxafim
`
`ELi¥®%%E®£&m\fifiEL$¥®%%EE&DbEEE
`
`0%fiévanwxmo
`
`(1)§%§fi2/E&EL$¥1(Efilc/fifiMEIb/fi
`
`wgfila)/fifi6/fiwmmflmmgfi4/E%WE3
`
`(2)i%§fi2/€&ELfi¥1(Sale/EEMElb/fi
`
`mifi1a/fiwe/awmaflmmgfi4/m%wE3/fi%¢
`
`gag?)
`
`(3)i%§fi2/E&EL%¥1(éfilc/fiwmglb/fi
`
`wfifila/fifi6/fiwmfifimmgfi4/fifiwg3/fi%§
`
`fiB)
`
`fl£\$%%®§Eusm1m\fi%fififlw%§fi4&§%§
`
`fi2%t&iH§EM?fiéLtfim$&5mxoffifiELi?
`
`1%fiitrm60
`
`séczfi4lczfitxaca JfiEfifiJZ (1),
`
`(2).
`
`(3) a:
`
`3wr\Emotfifiéfifitémfiwgsé$fiwufififiaL
`
`1‘RGB:E@®%%EE5:&$T§%O:®%é\fi%fi%
`
`$fiWEfi4®fiEmlumui200ummTfifiibmoit\
`
`$5flflifiéu\€fifi¢§3itfififi®fi§¥étféfi
`
`Eé%w5twmwa—74w99aémELrbxmL\éfifi
`
`figituwa—74mymfiufinfiémmLT§E%fiwm%
`
`fiégbétbfl\75v77b0v729béEELTbiho
`
`uT‘$m®%1%%®\§E%%§E%§fififiir&maw
`
`mufiwtaous\:mfifigimmmanaufim§m%gm
`
`®b®%fifliébmfifibxinflmfiénfibwfiuflwo
`
`1.fifiEL$¥
`
`$%mcmwénéfifiEL%¥ker\fififlfifiéafié
`
`§T%%TébmfiééléfifiiL<\Ewfifiéfiékbflmx
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 11
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 11
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`ttzmmTwfifiégwacg%rgao
`
`§$WK\:o®§fi(fi%EE(EE)t§E(EE))®E
`
`K\E%ME®%%EéHELtm%tLT\:nnfigcmtt
`
`@Eéfiméfindxwoflwmmu\
`
`(1)5flEECEfi)/%%E/¥fi(@fi)
`
`(2)5flfifi(Efi)/EREAE/%%E/Efi(fifi)
`
`(3)3fiifi(EE)/%%E/$¥EAE/EE(EE)
`
`(4)fi%%&(@fi)/ER&AE/%%E/%¥EAE/§fi
`
`(Bibi)
`
`uaofifiééwéztfifigao
`
`@fiflEECEE)
`
`Efimfifitbfm\fi$wfi®k$h(4evui)fifi,é
`
`é. fi'filfififizltéMEfzc: :némfiémzfifii L < Haw 1521,50
`
`fifikaTw‘Au%®$E\CuI,ITO,Sn02,Zn
`
`0%®$$Efi%fiflfi$fi%héo Efimxfififivzflwy
`
`E$®fiET\mgwfifiicifififimfifiéfifivéfifiEL
`
`i¥é%%¢&#ézafifififiru\Wiwfiwifi(@fi)m
`
`Ny—y94yufiLTfiEflEfiN9—>54>é%&?%oé
`
`%¥Eé\%%%%®fiwmgic%mtgfiu\alvb1v+
`
`>¢éfi57¢buvfa74—EfimfiflmgwgmfimL<§
`
`Efimmmofiat\Lfififlwfifivxfiv7%mfi§®%fi®
`
`v27éfiLTfi%%fi(Efi)mfiy—yéfiflt6o
`
`fifimgifimm%%u\7tbuv7574—Effiwéflw
`
`Ny~>éfimtézéfifiééo
`
`:®;6m%%%m5®%%é%fimémbwtgé‘Efiwfi
`
`fiufiiafifl$fi10%;bk3m:&#§$Lmoit‘gfl
`
`mv—bfifiuxfiEQ/flflTfifingo@Emfifiufifiu
`
`§;5fi\fifilOnm~1um\fi$L<m10~200nmm
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 12
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 12
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCP/JP96I00233
`
`fiET‘fifRé‘flZm
`
`-11-
`
`®fififi§
`
`fimE Li?®%%fifili$t:fifi4té4fllfiabbx Efikfl’aczcfijf
`
`Ewfiafllzibwwifiletémfl€$¢f6néo
`
`if} fififlfib\é%@®fifi'fiéi§%i§élui\ TEEOJ—fl'ifi'fi
`
`éébénéft‘éWfiglfl’ofléo
`
`VX©
`
`:w—flfiusuf\qufiwé%éfi?Q
`
`m
`
`CC’Gntak 2, 3, 4it£15T35Z>o ifs Yuk—FER???)
`
`iE-ifi‘fi‘o
`
`Liaftém0>7z;;bg, 7;;vyg, +7+1bficzfiéfifil
`
`~4®7w+wg,7»3$9§,m&§.zw$;w§,twfi
`
`:1bg, YSJE. =)X=I-1LTE/§Ef:6i-‘J7;;/L73/§%
`
`fififlitmfiflfifiLtbwfiéoTbxmo§t\:nemg
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 13
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 13
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/”96100233
`
`-12-
`mufiéL\flfl5§fi.GEfiéfifibfbioit\7l;w
`
`g,7;;vyg,+7%w§mfiamf%éLtb®m\%éfi
`
`fix<¥fiufififiwfifimtbufi§LmoEwmmmmem
`
`3%T560%K\p—7x—9—71;wfig¢,p—74y7
`
`7 ;;;L§§£E{2t7bi‘h¥§ Lhwo
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 14
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 14
`
`
`
`WO 96125020
`
`PCTIJP96/00233
`
`-13-
`
`(1)
`
`(2)
`
`(3)
`
`Q 0 Q @ p—7*—5’—71:.1L
`(PQP)
`
`@QQQQCHa
`
`@@@@@@
`
`3, 5,
`
`3 """ . 5'""—7’-l~‘3—t—7'+le—t=¥--‘/71;1b
`
`(TBS)
`
`(5)
`
`H3C©©©©CH3
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 15
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 15
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTIJP96100233
`
`-14-
`
`.6)
`
`9.9 @
`
`@ (9.6) 0
`rear
`
`(6)
`
`(7)
`
`(8)
`
`(10)
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 16
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 16
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTIJP96IOO233
`
`(11)
`
`(12)
`
`(13)
`
`(14)
`
`H3CO @ Q @ OCH3
`
`HOWOH
`
`H038 @ Q Q @ SOsH
`
`HOOC Q Q Q @ COOH
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 17
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 17
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96I00233
`
`-16-
`
`(15)
`
`(16)
`
`(17)
`
`H\
`H/N @
`
`(o) @@ /”N
`\H
`
`@{N Q Q Q Q N5
`
`(CH3) 3C
`
`(CH3) 3C
`
`Q Q Q Q Q
`
`C (CH3)3
`
`C (CH3)3
`
`3, 5, 3H", 5""—7‘}‘5—t—7"7‘)l/—p—747771:.»
`
`(TBQ)
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 18
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 18
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`-17-
`KR,fififiéfififi®%%éfiétbum\flifl\Nyf?
`
`7V—»%,&VV4EVV—w%,NVV%#fif—W¥%®fi
`
`%%Em\fiE#V—bmi$V/4Fmém,x+vw&yfiy
`
`%m%%&$fiac&fivgao
`
`Ewmmwém%%fi&d,Wim\%%E59—194393
`
`%£fiufiiénrwabmé¥fiéztfivéao%®R§w&
`
`er
`
`2,5—EZ(5,7-9—t—N7?»—2—NVT#$&7U
`
`)lx)—1,3.4-7-7“/“7‘/“—)l/\ 4, 4’ —L:*X (5, 7—t
`
`—«y+»—2—&y71+#70»)2+»&y\
`
`4, 4' —t“X [5, 7—9— (2—2‘7-111—2-7flb) —2—
`
`N>Vi$fifuwjz+w&7‘
`
`2, 5—52 (5. 7—9“—t—NV+1L—2—I<7‘/’7J‘$fi"/’U
`
`1L) 3:71-7Ly\
`
`2, 5—82 [5—a. a-Vfifi’fll/Nyijw—Z—N‘y‘fi—‘Ffi’
`
`‘fU/I/J 7-171),
`
`2,5-—EZ [5,7——9— (2—xaUL—2—w7+nd —2-—&
`
`V71$fifU»]—3,4V17;;w+i7xy\
`
`2, 5—62 (5—X-7-le-2-N‘y‘f7f$fl“fu 2L) 7-171)‘
`
`4,4’-EZ(2—NVV1$#TUW)E71;w\
`
`_
`
`5—X-3’-)lx—2— [2— [4— (5-X7-Ilz—2—N‘V‘f7r-‘Ffi‘f
`
`U»)7;;»]e;»]&yfz+#f—w\
`
`2— [2— (4—7DD7lllb) 8:11,] +7l~ [1, 2—d]
`
`7r$fi‘f—JL%ODI\°‘/7'7J‘$fi"/’—)lz¥§‘
`
`2—2’—(p—7;;uyve;vy)—Ez&y7%77—w
`
`$®Ny7+77—w%\
`
`2— [2— [4— (2—r\"y~/'/fi$f"/'U;v) 7;;2L] 6.2%]
`
`«<yf4iyf—n“
`
`2—[2—(4—fiw£#y71;w)H;w]&y74ifif—
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 19
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 19
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`-18-
`
`W %
`
`®&y74Eff—W%%®fi%%8m%$66:&#féfio
`
`3BK\@Ofimflmému\#isz—-t7-Vyti4v
`
`5'
`
`° 5f‘4 :6 1 S) 7 1.,
`
`6 :3 8 - 6 £3 7 Ei13.; CF 6 ‘1 O Eil:.§uzfi 3:11
`
`(mac
`
`mfi$v—bmt+914FRQMéLTu\miH%EM63
`
`—295695%fifimfifiénrm6bmémm5:&fifigéo
`
`%®R§W&qu\
`
`mb (8—#uIU/—vw 7»3;:¢A\
`
`EZ(8—$/U/—»)77*V¢A\
`
`Hx(&y7[f]—8—+/U/—w)fi%\
`
`EX(2—X+w—8—$/U/5—b)7w2;¢A1+9F\
`
`mb(8—+/U/—w)4>V¢A\
`
`FUR(5—X+w—8—#/U/—w)7wi;0A\
`
`8—$/U/—»U%VA‘
`
`FUZ(5—7Dn—8—$/U/—w)fiUOA\
`
`BX(5-7un-8—$/U/—»)fl»V¢A\
`
`71-30
`
`[fiS’a (II) —|:“X (8—I: F‘n$-‘/—5—=F/ 0);») X
`
`9y]
`
`$08—tFn+y$juy%&fifiwp90%wALE>buV
`
`19%égfléléfifiééo
`
`it\mfiz+uw&y€y%mém<m\%ZM&M%%
`
`$0319881%mm§¢&m%%%0373582%wmau
`
`flfién1w5%®%mhél&fifié5o%®fi§WtLTH\
`
`1.4—Ez(2—x+wx+uw)&yfiy\
`
`1.4—82(3—X%»2+U»)Ny€y\
`
`l,4—EZ(4—X+WZ%UN)N>EV\
`
`91%Uw&y€>\
`
`1,4—61(2—1%»Z%U»)N>€>\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 20
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 20
`
`
`
`
`
`W0 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`-19-
`1, 4-t‘x(3—17—1L2-‘f—UIL)I\“‘/-E‘/,
`
`1, 4—l:’1(2-X3'-11/X%')llx) —2—x+zw<y+z‘y,
`
`1, 4—t‘X (2—X+)LZ+')ID) —2—.-r_+11/r<y-t)‘y
`
`éfiéétj’écbbi‘fiézao
`
`ifc‘ fififiqu-Z52793%Q$fl&:§fifiénfh6’jz+u
`
`weavy%§Wb%%E®HH&Limm5:&fifig&o%®
`
`fififiléLfci\
`
`2, 5—t‘2(4—)“f')1123"'))lx) [fa-fix
`
`2, 5—62 (4—.1:+)I/2—’runz)
`
`t‘a-‘J‘y,
`
`2
`
`5—Ez [2— (l—')'7-7'Il/)) 8:214 t'fi-‘J‘y,
`
`2, 5—81 (4—21 bdvaa‘HJ») 559%
`
`2, 5—8;:
`
`[2— (4—t*71:_)l«) EST—IL]
`
`t’fiv‘y,
`
`2
`
`5—t“x[2—(1—t'1/:_)lz) 8.1111] 1559‘)
`
`$§$Wél&fi?§5o
`
`l’coaflgongmcklv'c,mJicinfli%%$%0387715%flfl¥m§
`
`Kfiiénfhéfv7;:w%flé%§%%§®fifléLTWW
`
`5:&§T§éo
`
`3 ‘55:». LfliLfcfifi'fiis‘sEifi'L fili‘FV— Ht7r$92 4 Nté}
`
`w,bivx%uw&yfiy%mém%flflu\Wid
`
`1 2—757D/\'l)}‘/ (J. App1.Phys.,%27?é‘s, L7 13 (1
`
`988$) )
`
`\ 1, 4—V7l:.)lz—1, 3—7’57iily\
`
`1,1,4,4—7-b57ILJD—1,379°21>(1>1J:App1.
`
`Phys. Lett..%569§, L799 (1990i) )
`
`\
`
`7"75711z4’iFfififli(4%513322—30588657'flifi)x
`
`N'JVV72§${$(4%553|22—189890%£$E) \
`
`7r$*f-‘/“7‘/“—II/?Bfiifif$ (%Efi$2—216791%’a}$fi\ if“:
`
`g 3 sfilmmmfi’s’éfiafifiééfifiéfiflflflé czgoTBfi/fiéntz‘
`
`##V77—»§$¢)\7wfvyfi$w(%%$2—2203
`
`93%fifi)\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 21
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 21
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96100233
`
`-20-
`E-‘iVU Vfiigfli (fififiilZ2—2 2 03 94%flifi) \
`
`V7DNV99IV§$W(%%$2—289675%fifi)s
`
`EquD—wfififi(%fi$2—296891%£fi)~
`
`71+!) )bTE‘xfiififli
`
`(Appl. Phys. Lett.,%5 695. L 7 9 9
`
`(
`
`1990$))\
`
`7vuy%fiém(%%$2—l91694%fifi)\
`
`3%fififi’kiflW090/l 3 1 4 8‘PApp1. Phys. Lett..v0158.l
`
`8,P1982(1991) zzfiflfiénTM5;6fififi¥fté%%b‘ %i’él§
`
`GfifltLTfimaltfifiééo
`
`$%%Tm\%K%%E®HfitLT\%§fiVX+U?4V%
`
`“3%(MM%%%0388768%%fl§¢%%$3—2319
`
`70%flfimfifimbw)émmalkfifiiLonWflétf
`
`an
`
`1.4—71;l/‘/"/“X—7-'}i'”’4‘/\
`
`4,4—71;VyVX%U?4>\
`
`2
`
`2
`
`5——*r°/1/‘/~‘/°X-7-U7"4 7‘
`
`6—+7%D>VX+U?4V\
`
`1,4—5‘71-T-l/7yX'7'U?4‘/\
`
`1,4—p—fV7ILVy9X%U?4y‘
`
`9,10—7)b5t>§4»9»i+0?47\
`
`4
`
`4'-—EZ (2,2-—V—t-—7+flfl7;:JLE;AJ E7;
`
`.111“
`
`(HT‘ DTBPVBicENggafi‘ZD) \
`
`4,4'—ex(2,2—97;;we;w)e7l;w(aTD
`
`PVBi&M%té)%\£;U%né®%$W%$fié:tfiT
`
`$60
`
`éém\%fi$5-258862%fifi%nfifiénTVé—fi
`
`fl(Rs—Q)2—AL—0—Lféabénémé%b$fién
`
`5°
`
`(LEK¢\LfiNyfiyfiéfitfi$E¥6~z4fiwfifim§
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 22
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 22
`
`
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`-21-
`'C‘ilo‘ O—Lli71—1'3-‘ Ffiflfii¥fifibx QIiEfiB—4‘} '}
`
`15—bmm¥é§L\Rsu7wi;vAfi¥KE&8—$JU
`
`)5—bfifl¥fi2fiéiflbfiétaméjwfinfigtéi5
`
`l:5§€iflt8—=FJU/5—~bfififigéfifi‘)
`
`Ewmmux
`
`Hz(2—X+»—8—$JU/5—F)(Na—7;;w711
`
`5—b)7wi;vA(UI)(flTPC—7)\
`
`Hz(2—i+w—8—+/U/5—b)(1—+7b5—b)7
`
`“375011) (mTPc—l'?)
`
`$fi$fiénao
`
`%03fl11\ 4%55326-9 9 5 3%fiifié’rtcat5 F‘—-l:"/7"Efifihf:
`
`Efi$w§fi&fifimfiéfi%éfiafififi$fiénao:o%é\
`
`71:2 b3; L’Ccijfialzéafitfzfiféfifl\ F—n‘y bézb'tzix %
`
`Ewafiénifiwfiwfifififi\Miw7vuyfibammtfi
`
`fifl®$zh&eruénrméb®&flfififi%@§é$65
`
`:éfifiééofififlmw\$2thTf§fiVfiU$Vkéw
`
`®%%HH\%KH3L<uMiuDPVBi\F—Mythr
`
`uV7I;»7s/x%0»7u—vy\%nfliL<umifl1,
`
`4—EX{4—N,N—V?::»73/)Z+U»}Ny€y(
`
`DPAVB) égcfaztifi'éééo
`
`mafifiémwt\%%Eé%mtafiEter\flidfiE
`
`E.XEV:—b&,LBE%®£m®fiEéfimtéztmfié
`
`5°%%Eu‘%ufi¥fifififiiaz&fifiiLmo:zfifi¥
`
`#fifi&m‘fiflfifimfiflmémvémfiénfiméntfifi¢\
`
`fifififiitufimfifiwfiflRQMbéfiwménfifléntfi
`
`wléféb‘fifilmfi¥fififiu\LBfiflxbfifléntfi
`
`E(fi¥ififi)tufifififixamfifimmfiv\%nmgflt
`
`6%fiflflménxbafitéztfifigéo
`
`it\%fi%57—51781%fifiuflfiénfm5;5m\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 23
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 23
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/”96100233
`
`_22_
`fifi§®fi§flkfiflflé%&éfiflmfifiLffifiéLt&\'k—
`nézEya—bE$K¢Ofififi¢éztuioTb\fifigé
`fifit5zéfivééo
`
`:mxéuLT\fifién%%%E®EEKGhTH%KfiRH
`fi<\fiflmmtffifififitfiltfifiéét\fifiSnm~5
`ummfiflfifiiLmo
`
`fifiELi¥®%%EMHT®wfiémfifiabwfi56oTu
`b5\©3Afifi;Efimmfingfiitumnfikgiblfié
`EA#5:&#T§‘Efiitmi¥fikgxb$¥éfiktgz
`éfifiééfi%\®fi%fi%;fikbt$fi($¥&E%)ééfi
`@fi?$fléfi5fi%\®%%fi%;$¥éiflmfifié®%éfi
`fiL\:né%%uoufiéfifi\#55o@L\Efiofikén
`P¢$&$¥®EA$n¢T3KEM#$oT§i<\itifié
`$¥®EEET5ébénémfifitkmfi51b&m#\£5$
`b—fiofifiéfifliézéfifiiLwo
`
`@EHEAE
`
`%£KECT%H%h6EflEAE®Hfi¢LTu\fifixbfi
`EfififlwmflfikfifitLffiménfmgbmvfifiEL$¥
`miflEAEKEménTw6®fl®b®®¢méfifiwbwég
`HLTWh5iéfifiééoEREAEflfiflH\Efl®EA\E
`¥®B$E1E0>mfinb~éfifi‘é Mama 0‘ 75mm awmma
`wEEéTbiho
`
`EWfléLTH\WiK
`
`FUTV—N%§W(*E%%3,112,197%%fl§%§fl)
`
`\ t
`
`$fiV7T—w%$¢(%fififi3,189,447%%fl§%
`§E)\
`
`4EVV—W§¥W(%£%37—16096%£fi%§fl)x
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 24
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 24
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96I00233
`
`
`
`:fiU'YU—wTIl/fi 735512: (figslilfifis,
`
`6 1 5,
`
`4 o 2%Bfim
`
`E‘fi%3,820,989%%m§\fi%3.542,544%
`
`flmgx%£M45—555%£fi‘@51—10983%£fi\
`
`fififl51—93224%&fi\fiss—17105%£fi\fis
`
`6—4148%&fi\@55—108667%£fi‘fl55—15
`
`6953%&fi\fi56—36656%fi$%§fl)‘
`
`Eafuyfifiwfiiveafuyfigw(*Efififis,180,
`
`729%mflg‘fifi4,278,746%Wflgxfiflfl55-
`
`88064%fifi\W55—88065%£fi\fi49—1055
`
`37%fifi\fi55—51086%QW\E56—80051%£
`
`fi\fi56—88141%£fi\E57-45545%£fi‘fi5
`
`4-112637%£fi\@55—74546%£fi%§fl)\7
`
`;;uy973yfi$¢(*E%%%3,615,404%%m§\
`
`%£%51—10105%&fi\E46—3712%£fi\fi47
`
`—25336%£fi\fififi54—53435%flfi\fi54—1
`
`10536%®fi\@54—119925%£fi%§fl)\
`
`7U~w7i7§$W(*E%%%3,567,450%Wfl§\
`
`fifi3,180,703%%m§\fifis,240,597%%m
`
`§\fi%3,658,520%%fl%\fifi4,232,103%
`
`Wfl§\fi%4,175,961%wm§\fifi4,012,37
`
`6%wfl§\%®%49—35702%Qfi\fi39—27577
`
`%£fi\%%%55—144250%&fi\E56—119132
`
`%fifi\@56—22437%£fi\fim%%%1,110,51
`
`8%wm%%§fl)\
`
`7i/Emfi»:y§$w(%fi%%%3.526,501%wfi
`
`E¥§m)\t$#V—wfi$w(%fl%%%3,257,203
`
`%%fl§%cfii®b®)\z+uw7>h5tyfigw(%fiE
`
`56—46234%£fi%§fl)\
`
`7»tu/y%$¢(%%%54—110837%£fi%§fl3\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 25
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 25
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`-24-
`tFiVyfi§¢(XE%%%3,717,462%%m§\%%
`
`E54—59143%fifi\@55-52063%£fi\fi55—
`
`52064%£fi\@55—46760%£fi\fi55—8549
`
`5%&fi\W57—11350%fifi\@57—148749%£
`
`fi\%%$2—311591%£fi%5M)\
`
`x%w&y%$w($fifl61—210363%fifisfi61—2
`
`28451%£fi\W61—14642%&fi\fi61—7225
`
`5%fifi\fi62—47646%fifi\@62-36674%£fi\
`
`E62—10652%’A$B\ 5162—30255%’J}$E\ [3160—
`
`93445%£fi‘EGO—94462%Qfi\fi60—1747
`
`49%Qfixfi60-175052%Qfi%§fl)\
`
`95f>%§¢(xflfi%%4,950,950%%fl§)\
`
`fiiljf/v'jyff; (4%55$2—204996%’A$E) \
`
`7;UV%#E%W(%%$2—282263%fifi)\
`
`%%$1—211399%®fiufifiénrm5$$fi%fi¥xu
`
`j?—(%K+t7:y1Uj7—)$é¥fia:&#figéo
`
`EREAEQHH&ertfimbwéfifii5z&fiT§5#\
`
`fin/74 U yltéw (4%533563-2956 965%fiifiéficzsafi
`
`mbm)\féfifiiflTEymémfigvx+uw7symém
`
`(*3fiflfi4,127,412%wm§\%%%53—2703
`
`3%Qfi\@54—58445%fifi\@54—149634%£
`
`fixE54—64299%£fi\W55—79450%£fi\fi5
`
`5—144250%fifi\fi56—119132%®fi\fi61—
`
`295558%Qfi‘@61—98353%£fi\fi63—295
`
`695%®fi%§fl)\fiflffififiifiTEymé%%fiwéz
`éifitzfitm
`I
`
`LE£w74uvmémwfiiméer\
`
`dill/74 7‘
`
`1, 10,15, 20—fi‘b97;:UL—21}L 23}L—$»7
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 26
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 26
`
`
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTIJP96/00233
`
`-25_
`4751(11)‘ 1, 10,15,20—7‘b’7’7LLIL—21H,
`
`23H—fiw74yfi%(n)\
`
`5,10,15.20-7“}~-3-‘¥~Z(/\"/$’7)lz7ru7;;)lz)—
`
`21H, 23H-3fiJl/74V‘
`
`902y79ny7;yt+9F\
`
`7)bi:_r71.\757u~‘/7:_‘/70U FX
`
`77n97:>(flfifi)\
`
`V')=f-'7A757E1“/7:.‘/\
`
`fifh5X7-1L77n97;>\
`
`$79097;y\
`
`7DA75’Df/7J—7\
`
`fi%79097;y‘
`
`59757097.:7‘
`
`+9:OA79097;71$9F\
`
`Mg757D3/7;‘/\
`
`$11757X+Jb77097ly
`
`$é$fia:&#fiééo
`
`itxfifififififiEQTEyfléMsivx+Uw73ymé
`
`wmfififltbfu\
`
`N, N, N'
`
`, N’ —‘7‘I~57.1:_Jl/—4, 4' —“/°7£J7:.:_
`
`)lx‘
`
`N,N'—~‘/“7:_:_11/—N,N'—t‘Z—(3—Xf-le7;:;)I/)
`
`— [1, 1' —|:*'7:.:_le] —4, 4' —“/“7i‘/(1/1TTPD2:
`
`M§E?6)\
`
`2, 2-EX (4-fiF—p-bU1b7
`
`Ill 17;;w)7nfly\
`
`1, l-t’Z (4—17-p-l"))l/7 [H
`
`17;;w)97n«+#
`
`V\
`
`N, N, N'
`
`, N' —7‘}"3—p—}"}111-4, 4' —:/“7i/7
`
`1;)1/\
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 27
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 27
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`-2 6-
`1,1-—Ex(4-—V—p—-bU»7£,W7;;AJ —4—%7;;
`
`)lx~‘/7UI\#-‘U"/\
`
`t‘Z (4—VX+)L7£}—2—X3‘)b71;llz) 7.1;)1/219‘z‘
`
`Ez(4—9—p—bU»7i/7::»)7;;wxyy‘
`
`N,N'—y71;w—N,N'—V(4—Xb$97;;w)—
`
`4,4’—97E/E7;;w\
`
`N, N, N'
`
`, N’ —‘J"}~-37;:.)lr—4, 4’ —“/“7517:_::.
`
`Jul—7‘11“ 4, 4' —l:*2 (97;;21/731) 77f—FU‘7;
`
`.211“
`
`N, N, N—b')
`
`(p—FUIL) 7i‘/\
`
`4— (v—Ir-FUIV7EJ) —4’-—[4 (V—Ir-FU2L7E
`
`/)X+U»]Z+w&y\
`
`4—N, N-~‘/“7_::_)I/TE/— (2—?7LLII/t“;)lx) /\‘“/-t"‘
`
`‘/\
`3—Xb$V—4'—N,N—V7;;w7§/z+w&y€y\
`
`N—7;:.)l«77)lu\°‘f——II/\
`
`*I’Fii‘TfiS, O61, 569%6233flénfb\52{lfil®fié~%§
`
`fifiéfi¥WKfi#5\flid\4,4’—Ez[N—(1—+7
`
`+»)—N—71;w7i/]57;;w(uTNPD&M$¢6)
`
`\it\%%$4—308688%®fififlfi3nfm5FU7;
`
`:w7iy1;v%fi3029—N—Zbflnfifiéht4,4’,
`
`4"—}~|)Z [N— (3—)‘7‘11/71-lez) -N—71:_)l/7E/]
`
`bU7;;w7sy(HTMTDATA&ME¢5)%%$H&:
`
`tbvfiéao
`
`it\fifiEQHH<fiLtfifi®%§fi9X+U?4y%
`
`Wémwflxpfl—Si,pflSiC§®flfikéM§EflEAE
`
`®HH<EE?6C&#T§60
`
`EEEAEH\ifiLtmémé\flimE§fi%E,25y:
`
`—bE.$+xb&,LBE$®£fl®fiEKgbfifim?6:é
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 28
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 28
`
`
`
`WO 96125020
`
`PCT/JP96/00233
`
`KibfififéctfifiééoE£EAE<®EEu\fiflfi
`
`$3341;th fificiS nm~5 flm'caéo CODIERYBSAEB"
`
`LfiLtHfimlfifiitmzfififlibéfl5#gfifiraor
`
`b;mL\fi#mwitmfifimmmfifigbéaafifififiré
`
`afbotL‘o
`
`@%¥&AE
`
`%¥umur%65n6$¥fikgm\Efiabfikénti¥
`
`éfifigflfiéi%fifiéfibfhnflx<x%®HfléLTufi
`
`*fifflmitéwmfipfi‘EEEQEUD’EERL’CFEUE.Itb‘Téiyo
`
`EW%<H‘LFDEE7AXVV§$¢\%%%57-l
`
`49259%&fi\fi58_55450%fifixE63-1040
`
`6l%®fi%flfifiéhfh67>b5$l§i97§§fi\WM
`
`mer Preprints, Japan Vol.37. No.3(1988) p.681 gyzzfiafifién’c
`
`m5V7;;w+/V%$¢,+£E5y91#9Ffi§¢,+7
`
`9VVNUVV%®EiE?F5fiwfiyQfi*mxfiwfiy4i
`
`Fx Japanese Journal of Applied Physics. 27. L269(1988).4%B§
`
`5360-6966577'37'Qfi‘ @61—143764%’L}$fl~ [316
`
`1—148159%fifiémfifiéntma7u1v;0?yxy
`
`Vfigfik %BfiHBSI—225151%IA$E\ [3161—23375
`
`0%fifi%u%fiénfm57yb5$1919y£;37ybu
`
`yfififlk Appl. Phys. Lett.. 55. 15. 1489 ’Pfifiifiwfi3 8E5
`
`fimfiigfifiééTfiEEmioffifiéntt+fiV7V—w
`
`fi$¢\%fi%59—194393%afinfifiénrma—gw
`
`§¥EéfiflémfififiénéoHfi\fifi%59—194393
`
`%f&ffififi$¥fi§fiflé%é%%gwfifltLTflfiLTh
`
`575K Zifilfififiifififlzinci‘ $¥EAE®HHé L'CififihZa
`
`:<‘:b“‘€§éi<‘:b“%5fi‘&:t§oto
`
`ik\ifit##V7f—wfimflifi¥t4tvfi¥cfimL
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 29
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 29
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTIJP96100233
`
`fc-T-T‘f—Il/fiififik §¥|fl€lgsi LTiflBhTLwé=1=l$fiU ‘/
`
`fiéfibt$2$fi0yfi$¢é$fi5ctfifigéoit\8—
`
`#JUJ—wfififimfifififi‘fiwmuu\
`
`bUX(8—$/U/—w)7ws;0A(mTA1q&$fita)
`
`)
`
`FUZCE,7—77uf—8—$/U/—w)7wi;vb\
`
`bux (2—x+2b—8—$/u1—w) 71115:“sz bu:<(
`
`5—x+»—8—+/U/—w)7ws;05\
`
`EX(8—$/U/—w)fi%(flTan&%fiTé)\
`
`:hémfifififim¢bfififixln.MgLCu,Ca.Sn.
`
`GaituPbmfiéfibotfifi%¢b%¥fikgwfifléLT
`
`mm5:&firgéo
`
`%®@m‘xyw7U—EL<ux9w7yuv7;y\§tm
`
`%né®$fifi7w+w§,zw$>fi§%fifimén1wéb®
`
`bfiibhoit\%%EwHfiéLTWiLtv2+uweaw
`
`Vfigfibx$¥EAHH<$V5:&$T§6°itxifl
`
`EAEtfifiK\nfl—Si\nfl—Sic%®fifi¥fifibmb
`
`5:&#T§éo
`
`$¥EAEu\ifiLtméméxwiwfigfififi.25y:
`
`—b&,$+zbE,LBEwflfiwfiEKgbfifimt5zén
`
`xbfifi15:&fifiééo$¥EAE<®EEM\%Kfim
`
`3nmufi\fifim5nm~5umfiaéo:m%¥EAEmLfi
`
`LtHHQlfifiikHZEEHifléflaflgfifiTé6Tb;
`
`mL\fi—mfiikMififlmmfifigbéu5§Mfififiaar
`
`§;mo
`
`®%E(@fi)
`
`EfitLru\&$wfi®mém(4eva)fiE(:né$
`
`¥EAE$E&w¢5).efifififigfiméwa;wznémfi
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 30
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 30
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`-2 9-
`émégfimgtf%%®#mhéhé.:®;5fi§EME®E
`
`WW<u\+LUOA\+bU¢A—wuvLé&\vy*y
`
`¢A\vab\77*9UA/fifl%%\77$?fiL/fifié
`
`w‘77*VOA/7wi:¢Afiém‘?7*ywA/4yvv
`
`Afiéwx7wSLUA/QW7NEL¢A(A12owx4>§
`
`¢A‘0+0A/7WELOA‘fiififiEHEfigfiénéofl
`
`i L < tix $¥i$kt£$$tfi¥fiié LTQEfiftéficzfifémjAEé
`
`fii5é‘$¥EAE$E&:nK;O&$%H®Efité<ii
`
`HQET55%:QE&®EQMfi$Hén5OMifl‘7719
`
`0A/fifié%\77*VflA/7wi;OAflém\77*90
`
`A/4vaAfiém\7»5;0A/&w7wi:vA(A12
`
`Ow\UfflA/TWE:¢A&E%$H$C&$T§5°
`
`:®E&u\:néméfimfiéfifivxfivauyfuamfi
`
`&K;D\fifiéfiméfiazkuxb\Wflt5zkwfigéo
`
`fifiELi¥é%%fit15§&%%%ETm\fi$\EEO”
`
`9—y54ynfibrfigmfififiy—ya4yéfifit5oEa
`
`éfifiE$®fifimémwfifitnfifliafiu\filvb1v+
`
`y7’éfit: 5 7 7r
`
`l~ U v 7-374 —i$‘6tifimfté4w®9§4t7b€m L,
`
`(xfifififiamofior\iflfifiwfifivzfivyvyr%m
`
`figmkfiwvxaéfiLrfifiwfiy—véfifitéoEmma
`
`mwfifiifimmgéu‘7¢buv7574—ETEE®M9—
`
`yéfiflféctfifiééo
`
`::T\@§@<®V—FfifimfiEQ/DMT#HEL<\
`
`figtiififiil O nm~1 #m\ HE L<615 0~2 OOnmUDfiE
`
`Tfifinaofifi‘:®EL%¥KSMTH‘3EEEkmEE@
`
`mfnb—fififimitm$fimvba:&fi\fi%%fifl¢5t
`
`b\%%@fl0flbfl$fii<fifléfii6o
`
`©fifiEL§¥®Wfl(fl)
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 31
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 31
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/”96100233
`
`HLMfiLnHstvxgéfiofififi‘mfi(Ewfifi)\
`fiEKEDTEREAE‘£;U%¥KmUT$¥EAE%%fiL\
`
`39K@&(Efi)ékfltactnxb\fifiELi¥éWflt
`
`azkfir§6oit‘fifibefifi«\WE&E®M$vfifiE
`
`Li¥éWflT5zébvé5o
`
`HTKEELREE/EREAE/%%E/%¥EAE/Efifi
`
`MflflfléntfimmfifiELfi¥®fiflfléfifit5o
`
`if\fi¥fl§fiiK\EfifififlBfiéfifiélflmflT\H
`
`§L<d10~200nm®fifl®fi§flfi5¢5nfi§pzfly
`
`yuyfifimfifiaxbfifiLT\EE%Wflféomc\:QE
`
`ELKEREAE&%H5OEEEAE®%&m\mfiLt;5K
`
`EQXEE,ZE>3—FE.$+ZFE,LBE%@fiEK;D
`
`fiaécéfivééfi\fififlfififiénfit<\boEy$—»
`
`fi%$Lu<u%®fihé\E§fififinxbmfitézkfifli
`
`Lhofi§fifiiflibiflflkgéfiflfégé\%®%E%#
`
`m\@%?6mém(EREAE@HH)\EWéiéEflEAE
`
`wfifififivfififififi¥uxbfifiafi\~EK£§£EE50
`
`~450°C\E§J§10*7~10-3torr\ fifififim 01~
`
`50nm/sec\§fiiEI§—50~300°C\ fiESnm~5u
`
`mwfififififigfliézéfifiiLmo
`
`KKEREAELK%%Eé%65%%E®%&b‘figmfifi
`
`%%Hfiémwfxfi%fi§3,xfiv9077,REVS-bfi.
`
`++xb&%®fi&uibfifi%%fifléfififli%:tn;b%
`
`fifiééfi‘fififlfififién¢?<\#oEy$—»fi$fiLK
`
`<m%®fi#6\E§fififimxbfifliéc&fifiiLmoE?
`
`fi§&flib%%géfifi?6géx%®fi§§#m\fififéfl
`
`émc;b£aafi\—flWKEREAE&EUEU§#fiE®¢
`
`b6§fi¢$:¢fifi§6o
`
`mc\:m%%ELKE¥EAE%%w%OEREAE\%%E
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 32
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 32
`
`
`
`WO 96125020
`
`PCT[MG/00233
`
`tfifi\fififlfiéfiéfigbgg§fifiiuxbfimiaztfi
`
`HiLmofi§§#m\EfiEAE\%%E&Efi%#fi%bE§
`
`fitaztwfiéao
`
`§&m\fifiéfifibffifiELi¥éfiaztfivéao
`
`Efiu\&fibéfifiénabmfi\fifia.zfiwyuyfié
`
`mhézéfifié5oL#L\Tfl®fifi%E%&fifibfifibé
`
`$5tbmmxfiéfifiififiiLmo
`
`CnifififibfétfifiELi¥®fiflm\—E®E§W§T
`
`—EL1EE#5@E§%WfliaztfifiiLmo
`
`m£\fifiEL§¥KEmEEEWM#6%é\Efié+\fifi
`
`%—®EfiKLT\5~4OV@EE%WM?5&\%%fiEMT
`
`$60it\fi®fiET§EémMLTb§mumnf\%%mé
`
`(itmmo$9m§fi$fié$MLk§éum\Efifi+\EE
`
`m—mfificuotégwam—u%%mmm3naommtafi
`
`mmflkufififimo
`
`2.ifi§fi
`
`xfiflmmménéifigfiéer‘fififlfififiénrmt
`
`mHHfiHiL<\fiwfiéfibawoUL5\fi%¢EM#é%
`
`{WINE-9‘03?" fifié‘th5b0bhfibfi-itho fzfitn $5
`
`Kfigt6fififly—ymifimfiaéégtw‘wa<tbfiw
`
`EL§¥MfififififiM?$5bmfixnfiiLmoit\&fifi
`
`Et$fi§®fiwfiazfim%b\@#&\%$U$&f\fififi
`
`getafiliwii—Trfifi'éaséf; 15:1“ fiEci4§czfifibem°
`
`Ewmnu‘tkiutaiv72fiv\&fifi%uyuw\7
`
`wz+§®fifififlMTfi§MELt%®%\égfiéléfifé
`
`5fl\fiEXfi(7—7—54Afi52\fifififi92%)‘5§
`
`fiflgfiflflfiflflomfdxfifiEL§¥®fifiMKfifi74w
`
`A?%E@fifififi%éfifiinfiiho
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 33
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 33
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCT/JP96/00233
`
`-32-
`
`3.m%wE
`
`$%%mmmén6fi%¢E&L1m\ttiw\m%@$£;
`
`U’fifilfi‘ ifczififfiafimabémm fii'éfiafiéN/r yi—fiflfi
`
`wufifiitufifiéfit5¢fifiwsmégwé:éfifis6o
`
`EWWKM\fififlfibamfifiwfifii¥w%%béfiéfifi
`
`Kam?6m%@§&Lru\1,4—Ex(2—x+wz+uw)
`
`NV€V(HTBis-MSB)\F5VZ-4,4'—971;
`
`wz+w&y(HTDPS)m%x+wNy%gi‘7—tFu$
`
`v—4—x+w77U>(uTavvv4)%oavuy¥fiié
`
`éfi5zéfifgéo
`
`&K\fiéitufifié®fifii¥¢fifibafia%%ufimt
`
`éfii'fifiiczom'ch fcéitiX 2, 3, 5, 6—1H, 4H—
`
`?batlfir—S—bU7UwX%w$/UV/ UL 9a,1—
`
`gh)770>(mT77Uy153)\3—(2'—&y7+7
`
`VUJL)—-7—5%1¥Jb75,/77!1>(BVF7VEJ>G)\ 3—
`
`(2'—&>X%E§VUA)-7-N,N—ylfwTE/77
`
`U7(HT77077)%®7VU>Ei\M77U>E$%fifi
`
`T5$b€’<—y‘77’fID—51\
`
`ifs Vii/«“7 b4lU—1 1‘
`
`7w&yb4lu—116%®+79w45FE$E$W5Z&#
`
`T350
`
`ikxfififléfiéwfifii¥®%fibé%9#éfifififiufi
`
`fi¢6fi%E$KGMTH\téiH\4—?97/X+Vy—2
`
`-X=f-le—6— (p—V‘Xf-ll/Ti/ZJ-ll/Ulb) —4H—l:'-3‘/
`
`(UTDCM)%@VT:V¥E§‘1—1+w—2—(4-(D
`
`—Vx+»7i/7;;w)—1,3—7991;w)—EU7;
`
`fiA—N—7DU—b(HTEU971)%@EUV7¥E$\D
`
`[II
`~§EVB\U—fi 76G%@D—¥i>%@§\@ci+fiy
`
`V$fi$fiénéo
`
`|PR2020-01059
`
`Apple EX101O Page 34
`
`IPR2020-01059
`Apple EX1010 Page 34
`
`
`
`WO 96/25020
`
`PCTlJP96/00233
`
`geu\gfififi<§§¢fif§fimfi‘figamfi\fiamfi
`
`%)bfififififindfififiééoit\fififi%@fi%$919
`
`7 vii/$127111“ awake—2M fiEfi t‘fisf