-~~I) ~ ~?"li, :lm:tllt:4t*~~.Jftt,'>.Q ~
`c 1!, 1JJ.I:;i!Jrlc•jRtt~~ ~it-r :t; ~, -It~
`ll~t:{iil'-t-.mt.' o~KJ:., -r. •~tt~ b-=>*f*l:bt
`~t>.o. -l!tu::, ~ v ::~ ~a> :s: .., '~- Y ?"•e: t...
`~ x~~~~TC~ · ~ o ~~::J-N~~G n
`"C~Y.Q . ~tD-ICJ: .Q ~!} :::1 Y Q):s: ':17- Y~ftl
`. , 1~, T ~ YO) 1 * Y{t!l(.£DC: ll1tiS5Clit~IC
`J: t), Si(OH)e•- 'IJS~ !I ::J ~iliiilt:~Ji14<Ht. -t:(cid:173)
`tl.:bt, ~otJ ~ ::1 -.JV.!: 4'- v- ~ t-~~ 1,... •EP
`l,;"t'l,'\ <.
`ICII-
`ii1Rzi{IJ ~y~~"t?li, ~o "/J 7 :J -J\IIC J.: ~
`Si(OH)t*- 0)~*~• ;!{ ~ ~ Y ?" ?_ o .::qcJ:. o
`"~*.!: ~" .!: ~.-..;a•tt-.~fFm ~efl8-fl~ t.: t> <D
`1!, T~Y.!:7.k.!:~IJ::JYIC~o.ft~~Z~ft
`.!:, ~!J~~?"?o~ICJ:.o"~~.!:~»<DMM
`ta•asa> 2&M-rJ • .ma:~rrt•vn.o.
`Ill li, .jR,f- I)~ Y?"O) 2&AI~ifliT .Qt.:
`~IC:fif.!., t.:~···\?1.> o.
`~IJ::IYaY!YICJ:.~, :b~~ICX7~Y~
`~tt,.Q. ]j(O),;."t'li, ~I) :::1 YiiJf. I} ~ Y?"~:tl.
`fl~'· ~t*~IC7 ~ Y:rJtJit'octJJ~"(;f.IJ ~Y .
`1' tJ~liJ·t& e: t.r ~;>. 7 ! y ~e .t .o rc~lit.JO e: , ;f. IJ
`~y ?"? o A lCJ:.o • • r:Jfp.JijCl.)jilfi;fj~fpm \...
`
`10'...----------,
`
`10 ~ 0
`
`0 6.
`
`C
`
`8 ·
`A
`-----~- 111L\:ft:
`.11 1 -~~IJ'VY1'CDaa. 1JII~I-t. A:'T
`~ :t*M~CD{t!Jb: ., ..,. "./ ~. B : *IC J:.
`.Q~ 9 ~"./~, Jf.:h 1.9xWPa, C: T ~ "./
`}j{.fltiCJ:.Q~IJ 'V"./?", EE1.J 1.9xWPa.
`Si: nm (100), 8-lOO•cm, SiOa: Mlll{t
`•• 950'C !:at.
`
`-
`
`1481 {71) -
`
`-(, ;UI.Ibi:Jifi't' .:,. -'jj, =•i'IW 1) ~ YliT
`!YcRmt...~~t.:~.~(~IJ~Y?"~:tt.~
`~, ....
`Sl l "t? li, n llilii:Q «r (100) <D ~ !I :::1 "./ ., x.
`.,,_CDii!~IC'=>~"'"C, 7F;I,..ft~, P~'Uo~C1ftko.:>
`ifi'jj{lt (111) , (110) lC: ':>~'\"(b . li\tfAfi-tlllti.l~
`~'f'. fttll,.., ~t$:r. •Y* :11":ilfr1CI!I\..."T:Ii,
`(111) a
`(too), (HO) 1c.Jt~"t'. 1110 Sl!r"t?t;
`:p :b~. ~ !I ~ ;.t ?";al!rQ.>iJii:U«z:lt:.l: :P~It.;. l;tl.
`t;.'/]>.~ ft. C.O') ~~:b);, T ~ "./ IC..I: o :s: 'Y ~ ~
`1'1-1, ~~~Jt-0), ~ IJ ::t Y~fjfi~i;CD1l&:bt
`#'*L.I:~';p b CDc • • \..."CI.' .Q.
`ll2 1t, 7 1 - J'V !!il{tfl~1r L..t.:., %/' -~
`~ \1 ~Y?"\...I:~ ... Q~O<D, lfili!l l£-~T- _.lli
`
`~t:=ftt~t~ ~ ::J ;.tt)S8ti:l V"CI.'f.tl.'fl~ (~ctJ:t:i
`.fj) "t?li , ~iiiiC~.fllt~ht.: Si(0H).1- :bf~tJ
`;i:.~j-Jv.Mt-:t!tiQl~ttoJ!t I) ~Y?"~ D~"t?k
`~.!: i;tl,"(, ;ft ~ ~Y?"~i!lftj".Q . =•~t~ 1J
`::l Y;OS.I:lll,..fttl(. (lmtflii:.fM) ~ii, :J! 1) 'V~
`1', o A~:ifliii~ttt-M~Vn,.ot.:ao~e, .::It
`{tv IJ ::~ YtJi Si(OH),,_ CD~~ c i? ~t1itf .OM
`•• ;f. lJ ~ Y?":b!ilftit'f, 7 ..C -N 1-*ll~ta"t?
`f!'tttft~IJ ::J Y (j'.1-l,f ~·) ~!lTC.~;O!~
`~.Q •
`. 5!18 1-.l, 7 ..--: 1 ATI¢11CII 2 pm. ~~ 3 pm
`.£- CD~iii ~ 200 nm CDM..ft.ll-r! a
`d.> jJ '£-~lilt I,..,
`"'• ~*SA~ IJ :::1 :,t'£-~~t.:tl, j"r(1 ~iti.!:!it
`*i«f <• iii) tJ>.; ~ IJ ~ ~ ?" \..., lit:(tR~8If:l
`~~ft~d.>~~~iii~~m•~•••~~~
`1'· ~I) ~Y?"I~. :b'f:b) 200 nm <D.IJ~d.>lt{t
`a.'t'Jtt ?\:~!:), JJt 1) ~Y?"ifiiliS!ti!"t?J).Q .
`
`001
`
`SONY 1003
`
`

`
`.(a)
`
`(b)
`
`(c)
`
`(d).
`
`(e)
`
`{f)
`
`iiiii:::::·
`-., .. . ... ~ ;;~ ·
`
`.
`
`.
`
`'
`
`.
`
`{:Q~tf7 ~)
`
`4
`
`-· U&t (12)· -
`
`4
`
`S,..IJ;;l;.-
`1): ='"'ll
`t3
`
`j
`
`..-..._. • ? ..., -.J.~-< Flt.(t.~Jlm Ld~~ifio.:>, j!
`.U~Jii(~··· 7-r-N~ll.ftJU;t,
`•llitt!J~ 200um o.>·-lt{t!:t 9 .::~ >'1!.Bf
`ntl. •. ~MA~ '!I ::~.!i~Jlib Mt:4a-c4*Jit
`~b."t~'\.Q,
`
`·~
`
`,i~i~~·~· i'l i{ "'-- 3
`:,~ .. ·si .. ,.,:: t~
`§ "'i . ,l·'" ·''··i
`2 .,--.. ,-.. ::::;:;::;t~ 'J :--:.-~ "siOz
`'1. ...-J!4 f ~ ~~·~jl (~ll ::1 :i;) ·-o>:k~.;~.
`-¥'i/:~ ~ ?'~~~jj'Tattilr1ilflU.
`~:fifi~ ~' !) V!;i'1'fi'3il-iiil!'1Jt:I.~ififfG, =lit
`·{tv.~· :t ~I$.Bl:l\ L-kl*ltt ~ lJ ;r 7Q'J.n:J:t~··
`rr ttx'< t.t.~ t. C: ~~ Lf't:lt'."!?·· Ld~JJ$.., ~:., ll
`~~· 9 ~~Nf'17 ,_ -)vt·tt~t.W;t..;t. ~ ':1;.~­
`c!:: t,t.:ful: N.Piti:c!: t~ ~, 7 "'( 1 xJI tt1~-t-a t...
`·-ca~a~#~ ~ c. c!:: iJfT! ~ ~.
`,r, iJ 7.>-?"~tl~i'll\«i"t!':W~·~tL-t't,'\~f~~
`:<\ r· '!/ F(. - -e~ ~=~tift u 9 :ll :z <v.MJI~::k:3
`It\, ~ 't lt), ~ I) ::J ~ tDJifJ::Hl\tiJ.t)'i;k ~ li' I~
`c~ sf. ''J~-,.;.fp a.::r.(1.>MU!lbSA..t,)!.;.;.py< tt
`~. m4~m~~'~·~•K•Y~i'~~
`!I Q ~ ;I.J)$1!!1~ ~ !.-*?. l:. 0 t i!: ~~- -~~
`1)9~·?'f~,: VU :::7:,tBIJC~ifj·l1)1}\~!."., illfi@
`IJt~-ilfr,t~..( ;(.~~.Qii'<!:, fr~4ttl< l:.l:~
`~lJ't.f/VQ,
`
`$.. T-1t4 ~ ·t- ·~ ~A 7 7- S()l (l)iS;Aft
`Jm~ ~1, .,.,,,.<1 .:;( i- '':/ ;(.7 7' -IW~~T·
`~•Jf.l. -r·tnt7r<1 x~t~~~n~. :tJoX'QiJa:>
`v :v :::1 ;.-. ...,;t.h-~7f.j"'. (b)f~. ljfJ.<1 hiii~
`:!t~J;i[Al(:-·li*'~g~~'j':. ..1tlJ,~;t. xlf.
`4:-Y:~, ~~~i~ 91 ~ J-·~~JUit"~l>·. ('o)Jt~
`t ~ ?u:;, 1'.t~4 ;(.~~~lila~ ttk: 7 .x:. ... ,,-JJa:>:k
`~!fr 00 .4$\) pm) li. 7 -J ·~ V. ~ (til~·) 7!
`~:?:. 'iU.lltli7Jv ~ 7-~MPf.:. !U'J.OJf$
`
`002
`
`~ .
`.
`l
`-=:::::~;
`(li~tJ',~) " - 2
`.
`.
`.
`9 6 7'.1-(if ~ t ':t-.;:(·7 :r-:rJI. (a)71'f.f ~
`ll~f}RJt~nkj';~ :r:.-~.;r.;'-. (i)j';!J
`0 /~.:~:.n.-~:t~H·~.a.>ti. (c)$19
`:r :t ~ :r.1'--a.>~* ( ~ .y !:!' / ?" HI!R.>tt IJ
`Y-Y1). (:cl)~UB (~tf.~ ~ ~.:r.
`~'-) l;.~i}. (~)~ftatiAa.>•*· (f)
`~-~~~L.' ?".J<f{ ~~~~.B~
`1-, Y;T-;7 T -~t.L-5.
`
`r..- 1
`
`?} ~~~jR. 4t !1 ~ :; ~'t? ~at* l;. ·7' ;"( { All (l) ~~
`~T· 7 ·1 ll::; 1''~UU¥;C1).M't*1JIJ:I:'#'·z, CD"l!,
`:IJIJ:C;r!tl-i*~""~~· 1JIII1tii~V.f~~-.Q. L
`ft'/)$'? -c. T'.lf~ ;;~:)I~01"~~!l~f.t~,1t~.
`?Pt.r.< ct 40ttm li.!f-·9 ~ ::--.1'1'!~*-r-.o. '
`~ ~ :Y ?·O>ml:lt:l~~~~~~ cd0M~It:~J~, 1lil
`.:r.• ti!lililJ-r:g~&l~- ~ ft:4·.
`< d)lcm'f'J:. ,.,c:, u~ v V:.t ?·-e!lt.d~7
`1<-r ;;r.}l~ • .%*.JittB ~11? ;;r.) ~-·'t
`.Q. (e)K~:t.t?IC, j";'<;f .Aifi~Jitii~1t*
`e1.>C. ~#lfc. 7 ')! 1::." .;Y .1' $ . J: r.FA~If. '' $1 ~1
`
`~>It 1) ~;:~?"1JD.:C.(1J::r. 1- ·y ,'(-C,t,t~, .• • IC.
`
`i:) ~f+ii&·A~~i" . .¢. t.D).t~l~. *•*
`(f) ICffiY .t' IC, t.a!·~J~It-1' 7 ~~"e~ft
`
`mt*.*ffti~"• 7'r!t ·'f ~iJSU·ciJ·~~ ., . .x.~,....,~
`
`

`
`.,..,, .,,. •• .,SO!"- (IIQ ·•J)
`
`.3
`
`s
`( _,..,('IS)(cid:173)
`
`?1-
`
`(b)
`(~)
`f-7~~'1"-tfl(alt:. 1-7::.-~7"7-ti
`t.lt)<'.>- 10(1 n\m 7 s..~"-"· ~ ·± "' --IC
`1:1, -~ i ,tim OJ,7',.<t{ ~Tt\t$1C, 17,if!it'D
`_A-t !f.-' t<, ;;V;?.~TI/'-7""--'f~'tiJ..
`-~-=a:tt"LI.'$ ... 7 ~~., ,.-•.. .).;r..,t'
`-CD-1'·) .. <'( ~·~~t,.."C, :)C*:{<J'!.Q c.!:
`»'1i:8'·.;,
`
`iiltc:bft? ""'C;. :!~Oj::;tftlt1&:""§ lA~;t ¢Il!l~t
`.eo eli: or :r
`.
`;ltiWJi, :t 'fi!.
`.
`IJG:t;J::. ll,1i; 100mm {1J1].:t:.r.-J'il1=. ~?!He
`,.rt~tt~ 1 J.i'lliD',t·1. ,r, -7 r ::; ;; ~ 7..? Y v
`-~j ~~··7-;;t'l} . .:t-1".-tt 1-7 ':/7.. 7,.- Lt.:
`b~$'f .. 7:tif"1 ~JI:I<t.!Jts lpm ~it> 1), 1- 7
`y X 7 1' -fi1 , X. I' .... ~J!~ L -r. )1::*~ ~-Q t.
`I< 7 ':/ tl Z!J jl_it.l;!;, 11·1 K:7R'f J:
`<:.~"¢~ ¢i.
`i~. -~ l.pm O)x..ep *·£1'-t-Jv1Stj:l"!c:WRJtts
`tl.. ~-~.ifJ:.·l:1..:t-.~ ;y jf -~:! l:l.:.f:tt.-ett 0. 2
`~ o. 08 pm "t!$ f)~ l.OCOS (Locii .Qxidat~
`.ot~) ~U:~. i&'!R~ ~ ~-:!..YflJ7- .r "'"~
`-Mc1Ji...,"'Clt'1Q•
`8$~ ~~~~7r--h~h,:.-VA.#T
`v--CD< •) :0 v :1 jf ...... ~ .-{-.A.ita11tEE:a .t a.
`(b);~ V(l ?- -il~.:!i: a :v? ~ '-UaJ~t!£~~
`-t, ~7":/ . ..%7::r-ft11~Hc$~'-c, cn;<t>~t!E
`.lt'l'lfe{tltb;tt-,., :?JjR;f.l} y:.; ?~I~. 1- 7;;
`,?A.?R:{QJ.~--~"f~"C~'t.tt'. tsbiC:; ~7
`:-'" 9 x ~ frll:®liltJI!&EE~i r :1 :;.- x 7 ,. -tm·tl> 12
`
`.• 7 .t~.1 lit~, -~ 'J :.r e) ;:l;,.~ fill. ··~· 1 tnn
`O)x·~~+ v "':W./Ii:fl,tWRlt-~~1/C*il.;:J • .-.( """- 1
`-xl!l'l~ o.2pm.. ;q· .... ~--~~ o.ospm:
`. .
`.
`-e~a;
`V ~ '?" 100 V .I?J.l: ""- b*tllC lfijl: L- t:. t. tL
`li, -~ ·7 ~.A. 7 1' -Jl{IO)ift·!Jtl±~, tilbj6.~ ::1.
`v-??. -.!::;7-+ ;t.JV7. l- .y '-~'"'"'ftit~o.:> ni--p+ •
`~~~~# i,., ~ ~'! :(, O'J !CX~ll, .. 7 ::-',A :1 :f -~
`~~. ~WMO'JJHIEic>fk#"t a#lbi!i6.Q.
`i§l 9 f;l;, -~ 0. 4 pm O'J MOSFET :,:.1>{ 1 :A8
`:f1, ;f:i~t/7 ~J::.IC f 7 !I A. 7 'T -l_,ft~~lfiifi
`0)~ ~-frll."f-lli:fkfijji:Jt~~Q. C::lVIMil:.b,
`:-4'( 9 YY?"'i.t. -~"j ~?·a':/ jf:.(}')"T..r~-{ ~(1)
`'*lit it b:t liJ'#i~ $a; ·t. . .!::; ~t>~~ Q.
`~ ld'.:: r':7 ~;t. 7 f -X@"t:l:i, 2 !l;CDliJf§
`:I.fiifl&-~~ <t> o .. ~ c --e, ilfl~Ifil:Q$ .llf"CT
`CJ::.:?K._, li5(c)IC~l.,-ftit.IC$k'-c:', lf.IJ
`v v 1'~1'1,/:li tdt~Jof-{ .A!IOJ.iliiiP ;;, -lt1t
`v 9 ::i.~;t.:t:'ii't.-"C, .y.)V ~.:.. t7 .~,.,,~ ·y Y;t--e1(
`~::3.5t:t. 7/11 ~ :::::...;.t..1111*1Hii00lt:JiW~-tt~
`~- (flJ~ht?1 ;y:;Jt :...-7 -1 ':/?.) TQ t. l:~liJ
`•..-e t> ~ 8).
`i::'. it>1Jm~-:t, 7 J'( 1 ;i.. r 7 -~ .A "j 7:.
`-tD:t~:b!~-·~tt{dtJ:J'"'ef.t <. "ff1'>t;( ?;Jid)
`iiliilliH!:Itl·~~lit~ .~- .!> t. b , ttE*d.> ·SOI pttfi
`\!.t:tmJt"C~? t.:~:f!ii'll«£~. illlJ~"t: ~ .g c c.ts.
`e, {l:tt:t.::~~:b .,-c"'.o ..
`1"
`T.J.
`4..
`t;
`$iR ;f-1) y y ~ i;t, 1t~D{re; c ·~ft-.Jllt<*OJ 2
`.R~t:'hli~.ilfi 1..,, ~ '' ;;I ';/~=mHt~ '' ::r ::.-
`
`(a)
`
`(b)
`
`003
`
`

`
`·~ Jfl . . . ..... ilf.ll .-0 96 '1)
`
`IC~i~ 8Mbf•<!:'Cl)tffiM~~,J!~~~.
`M:tllc, ,;;tif~O)••~•.:tr< tc~..;>t:.., lit ·
`~~~MW~A, *~~---~-~--~·
`li!f1i:$i!SJ!*-¥ • . K~<-Itt;."'f:: L t 'T• it
`*· s.mc.:r.••••~c-tt~:t;r:~'t:tt~,r.. •.
`
`m•sa.:~JCIBWti'f~ t-it:if'.
`
`~b.. 111' >f&J?.Lt ~;ill< 1JJI '1:! t ~ ~ ~, :>:u·~
`1)'=>. -~<D:it#Ut., 7Jt Af .XJ.IIEPI!~~·~ tit.:..li.
`fhat:li.. ,~ ·j .~~.- c. t.,-·cJiJJWt ~ c. a~. ~ ::r .. ,,
`-~M-.ftL, f;~1· A~i!t·Q)~t:M.HJ:
`~ l' "'~ zt ;:;r ,. - r .Q, 5"~~-1 .:z. t-:7 ->' ~ '7. 7 '(cid:173)
`·sol ~»t~liift1c. ~"(~"' ~·
`7~~-1 .-r. ~>· .;. ?I ;.. 7 ., -tt~u. 7r=t1 .~)10
`1}.-~~-ti,h~'f.falit~* ~c..!:~~. ~ ~'8'1:
`:t.tJWD~~~ M~ ~ . f.il~ 1':, ltH.&:IiUc•
`TC..: t:~. #1!\0>IiUJJ~Wik:~tl.~-ritl~? t.,, ~
`~JftJfJ "?.P.l:JI$7'-1<1 .A c.~ •J :r: r:r~<-1 ;1(Q)
`· J:.'5:1lft.7r(.Jf :A:2.tV:, V tJ ;;J ~ -j'l'it;if ;:1,1RI
`~0r,t ~ -€fp"'t1'~:.1c .t .,_ -r, ~-~ • ~-·
`~~~Tl·"·d ·"/ lJ ':' ~·_Jl·<D ~?X;p tiSl <D~~
`lii'--~t.t.ol.t ~. •1-:Jt~q, . L~k·, · c. ~~m
`
`l ) G. W , CUllen : J, Cl:V-it\ Ot<twth 9 (~971) 101,
`2~ M W. GeiS. D. c. Fianeleril 11.11d H. L Smith:
`Appt Phya. L.et~ ~ (l9'l~) ·71,
`8) H. Iahiwllfa. lff, .flt.aka®, H~- Y~111.oto and
`5. Farukaw•.~ PrO<'- 14th ·Omf, Solid $144
`DI'V.iCIS, t'o.~ l$8i; )ptt. J> .. 4ppl. Phys. 2Z
`(1008} Suppt 2:2~1,. p. ·001.
`·4) ~ • .ls:ita,
`'/. Kunti, M: 'f~ahi ~cl K.
`Kajiyama:: 1t>D:. ] • .A.PI)I. Pliya • .21) (Ul81) L
`tool
`f)} J. A. ·van Niete-n,. :~t . .t. J. Theuuiaaen ai:ld I .
`A. J\ppela: Phifipa Teeb.. Rev, ·Bl. (1970) 271.
`6) T. Hama~uclli, N, En~o, M. Klmu.ra )\lld M.
`· Nlkamae :. T~ch •. Dfg-. 1.986-ii:EE ltit. Eucer'o11
`Droices ~mng, W'asJU.~. D.· C., 19~
`(IEEE, ~ew Y.orlc, l~ p. 688.
`7'j R. M. FiDJie ami 0. I,. 'lt\~n: J. 'Electroch~
`See. Ut. (1967) -006.
`· s) ••{•~. i«ot§~. niP!: -.47miii)m•
`J!JI~$!ifilJ1l~'tWl. (19..86) P• 495.
`
`004